بناءً على المقطع ده، من فضلك قدم قائمة بنقاط العمليات اللي بيستخدموها علشان يجهزوا مواد شبه موصلة للدوائر المتكاملة.
Context:في مجموعة من العمليات اللي بتستخدم عشان تحضير مواد شبه موصلة لمجموعات المعلومات. إحدى العمليات بتتسمى الأكسدة الحرارية، واللي بتشكل ثاني أكسيد السيليكون على سطح السيليكون. ده بيستخدم كمعزل بوابة وأكسيد المجال. بتتسمى العمليات التانية فوتوماسك وفوتوليتوغرافي. العملية دي هي اللي بتخلق الأنماط في الدائرة في الدائرة المتكاملة. بيتم استخدام الضوء فوق البنفسجي جنب طبقة مقاومة للضوء علشان يخلق تغيير كيميائي بيولد أنماط الدائرة.  الحفرة هي العملية التالية المطلوبة. ممكن دلوقتي نقش الجزء من السيليكون اللي مش مغطى بالطبقة المقاومة للضوء من الخطوة اللي قبل كده. العملية الرئيسية اللي بتستخدم عادةً اليوم بتتسمى الحفر بالبلازما. عادةً بيتضمن الحفر بالبلازما غاز حفر يضخ في حجرة ضغط منخفض علشان يصنع البلازما. الغاز الشائع اللي بيتم استخدامه هو الكلوروفلوروكربون، أو المعروف بشكل أكتر باسم الفريون. فولتج تردد راديوي عالي بين الكاثود والأنود هو اللي بيخلق البلازما في الحجرة. الوافير السيليكوني موجود على الكاثود، واللي بيسبب إنه يتعرض للضرب من الأيونات المشحونة إيجابياً واللي بتتفرج من البلازما. النتيجة هي السيليكون اللي محفور بشكل غير متماثل.  العملية الأخيرة بتتسمى انتشار. دي هي العملية اللي بتعطي المادة شبه الموصلة خصائصها شبه الموصلة المطلوبة. ده معروف بردو باسم المنشطات. بتقدم العملية ذرة غير نقية للنظام، واللي بتخلق تقاطع p<unk>n. عشان نحصل على الذرات الغير نقية المضمنة في ويف السيليكون، بيوضع الويف أولاً في حجرة درجة حرارة 1100 درجة مئوية. الذرات بتتحقن وبتنتشر في النهاية مع السيليكون. بعد ما تكتمل العملية وبلغ السيليكون درجة حرارة الغرفة، بيتم عمل المنشط والمواد شبه الموصلة جاهزة ليتم استخدامها في الدائرة المتكاملة.
- أكسدة حرارية -فوتوماسك/فوتوليتوغرافي -الحفر (بخصوص الحفر بالبلازما) -نشر/منشطات