解读我区支持企业发展一揽子 政策措施新闻发布会举行
拉萨融媒讯(记者齐永昌)近日,在自治区人民政府新闻办公室新闻发布大厅召开新闻发布会,新闻发言人,自治区政府副秘书长旦增伦珠解读了我区支持企业发展一揽子政策措施,自治区发改委,经信厅,财政厅,国资委和税务局等部门相关负责人回答了记者提问.
  45条政策 促进服务业领域恢复发展
  旦增伦珠说,自治区党委和政府高度重视我区服务业领域助企纾困工作,安排自治区发改委等17部门研究印发了"西藏自治区关于促进服务业领域困难行业恢复发展的实施方案""实施方案"针对我区疫情防控形势下消费市场面临的困难和问题,研究提出了45条政策措施,归纳起来就是"三减两补一支持"和"四个精准,八个不得"."三减"是房租减免,税费减免,社会保险费减免,"两补"是防疫支出补贴,失业保险稳岗返还补贴,"一支持"是金融支持政策,"四个精准"是建立精准监测机制,提升精准识别能力,强化精准管控隔离,推广精准防护理念,"八个不得"是不得禁止低风险地区人员返乡;不得随意扩大中高风险地区范围;不得随意将限制出行范围由中,高风险地区及所在区(县)扩大到所在地市;不得擅自对低风险地区人员采取集中隔离管控,劝返等措施;不得随意延长集中隔离观察期限;不得突破疫情防控相应规定进行封城,封区,不得非必要,不报批中断公共交通;不得非经流调,无政策依据对餐厅,商超,景区景点,电影院及相关服务业场所等实施关停措施,延长关停时间;不得在国务院联防联控机制政策要求基础上擅自增加对服务业的疫情防控措施.确有必要采取封城封区,中断交通等措施或在现行基础上加强疫情防控力度的,须报经国务院联防联控机制同意后实施.
  减税降费 让企业税费负担切实减轻
  在解读我区减税降费政策时,旦增伦珠表示,中小微企业城镇土地使用税减免政策,对在我区注册登记的中小微企业暂免征收城镇土地使用税;支持重点群体创业就业税收优惠政策,对我区重点群体从事个体经营的,按规定在3年内按每户每年14400元限额依次扣减其当年实际应缴纳的有关税费,对企业招用重点群体就业的也有相应的税费优惠政策;促进自主就业退役士兵创业就业税收优惠政策,对自主就业退役士兵从事个体经营的,按规定在3年内按每户每年14400元限额依次扣减其当年实际应缴纳的相关税费,对企业招用自主就业退役士兵的也有相应的税费优惠政策;运费补贴政策,对销往区外的本土资源加工类特色产品给予50%单边运费补贴;国有企业支持房租减免政策,2022年被列为较高,从业厂商少,公司的良品率,成本及价格优势将更为明显.
  2)硅零部件加工技术
  大直径硅材料经过切片,研磨,钻孔,腐蚀,抛光,检验等多道精密加工步骤后可制成等离子刻蚀机用的硅零部件,如:上电极,硅片托环等.等离子刻蚀机的气体通过气体分配盘经由硅上电极的上千个细微小孔进入刻蚀机腔体中,在一定电压的作用下,形成高强度的等离子体,若细微小孔的孔径不一致,会影响到电路刻蚀的精度,从而造成芯片良率的下降;同时,上电极及硅片托环与芯片同处于刻蚀机腔体中,受等离子体的刻蚀后,逐渐变薄,当这些硅零部件厚度减少到一定程度后,需替换新的硅零部件,以满足等离子刻蚀机所需要的工艺条件.因此硅零部件是晶圆制造中刻蚀工艺的核心耗材.硅零部件的物理特性和化学特性对于晶圆表面的沟槽精度,均匀性等指标有着重大影响,因此,等离子刻蚀设备厂商或集成电路制造商通常对硅零部件的选择有着很高的要求.
  大直径硅材料属于硬脆材料,加工难度极高.例如,在进行表面,外形加工过程中,刀具与其接触过程中,极易造成微观层面的崩裂等表面细微损伤,这种表面损伤可延伸至产品内部,造成产品在使用过程中的异常.然而,硅零部件中应用于集成电路高端制程中的上电极,往往需要加工上千个微孔.每个微孔的尺寸精度,位置精度等都有极高要求,甚至每个微孔内壁表面的保持一定程度的光滑度,以达到孔内壁不易产生异物污染的要求,同时,刻蚀气体经过每个微孔后,孔径内壁腐蚀变化程度也需要保证一致性,所以,上千个微孔的加工必须一气呵成,如果中间有异常,整个上电极就会成为不良品.
  公司经过长时间的研发,掌握了硅材料的加工技术,在高深径比钻孔技术,孔内腐蚀,清洗技术等方面探索并积累了一定的经验.报告期内,公司进行了"精密磨削替代研磨加工"的工艺改进,降低了材料成本,进一步提高了硅零部件产品的平面精度;硅零部件完成品清洗工艺优化取得阶段性进展,降低了表面颗粒度,为后续整体方案设计提供了重要的技术保障;公司开发的"单晶硅及多晶硅材料细微深孔加工技术"经过科技成果评价,达到国际先进水平.公司目前的工艺积累已经较为领先,在为刻蚀设备厂家配套方面,公司继续加强与国内等离子刻蚀机设备制造厂商,中微公司和北方华创的合作,共同开发适配于不同机型的多种硅零部件产品;在终端集成电路制造厂国内客户方面,公司可以覆盖其使用中的绝大多数硅零部件规格,并已获得国内多家12英寸集成电路制造厂的送样评估机会,取得了小批量订单.
  3)半导体大尺寸硅片行业技术
  半导体硅片是集成电路制造中的基础原材料.一般而言,单张硅片上制造的芯片数量就越多,单位芯片的成本也随之降低.因此,为了提升生产效率,降低成本,半导体硅片制造技术不断向大尺寸演进.但是,半导体硅片尺寸越大,对生产的人员,技术,原材料,设备设施等的要求也越高.同时,作为芯片制造的基础材料,硅片生产对于晶体纯度,缺陷率控制,表面平整度,表面异物数量也都有着极高的要求,且随着工艺制程精度提升,这些指标会更为严苛.为了满足这些要求,先进的高精度自动化设备和具有长年经验,熟练掌握核心技术的工程师都是不可或缺的.
  半导体大尺寸硅片行业技术简单分类为半导体硅晶体材料生长技术及硅片加工技术.
  公司既有产品大直径硅材料,与8英寸半导体级大直径硅材料,由于两者应用场景不同,对具体技术参数指标的要求也不尽相同,两者在各自生产环节的参数设定,调整及控制方面存在着一定差异;但同时两者在生产工艺方面存在相似度和相通性,即都是利用直拉单晶法生产,其工艺涉及的重点技术领域均涵盖了固液共存界面控制技术,电阻率精准控制技术,引晶技术等.相比大直径硅材料,8英寸半导体级硅晶体材料对晶体原生微缺陷率,面内电阻率均匀率,表面异物数量等多项指标要求更加严格,需控制单晶硅生长过程中的硅液温度,晶体成长速度等工艺参数,使其集中保持在较窄且稳定的工艺窗口内,以满足后续芯片制造的工艺要求.
  从尺寸参数来看,目前国际领先的半导体级单晶硅片生产企业在12英寸领域的生产技术已较为成熟,研发水平已跃升至18英寸.我国尚处于攻克8英寸和12英寸轻掺低缺陷硅片规模化生产技术难关的阶段,上述两种大尺寸硅片相关技术尚待实现突破.从核心参数来看,目前国际上技术领先的硅片已用于生产7nm及以下先进制程的芯片工艺中,国内大规模化量产大尺寸硅片技术起步相对晚,多数集中在重掺低阻产品上,用作为厚膜外延片底板及之后的亚微米级制程芯片的生产中.
  重掺硅片与轻掺硅片工艺不同之处主要体现在,重掺硅片需在重掺硅晶体材料制成的衬底片表面上生长一层几十微米到一百多微米不等的外延层.因为有外延层,所以重掺单晶体对缺陷要求较低.而轻掺硅片表面没有外延层,对轻掺硅晶体材料的原生缺陷指标要求很高.目前从全球市场8英寸硅片总需求上看,轻掺硅片占全部需求的70-80%;在12英寸硅片总需求中,轻掺硅片占比几近100%.
  公司以生产技术门槛高,市场容量比较大的轻掺低缺陷抛光硅片为目标.公司已掌握了包含8英寸半导体级硅片在内的晶体生长及硅片表面精密加工等多项核心技术.具体包括:晶体生长稳态化控制技术,低缺陷单晶生长技术,高良率切片技术,高效化学腐蚀及清洗技术,超平整度研磨抛光技术,硅片检测评价技术,硅片表面微观线性损伤控制技术,低酸量硅片表面清洗技术,线切割过程中硅片翘曲度的稳定性控制技术,针对200mm抛光片表面雾化现象的控制加工技术等.
  公司8英寸半导体级轻掺低缺陷大直径硅材料,经过切片,研磨,清洗,检测等多道精密加工后成为抛光硅片,销售给集成电路制造厂商.之后历经非常复杂的工序,最终制成芯片.当前在50,000片/月的产能下试生产,产量为8,000片/月,大多数的技术指标和良率已经达到或基本接近业内主流大厂的水准.
  2. 公司所处的行业地位分析及其变化情况
  在大直径硅材料领域,凭借多年的技术积累及市场开拓,公司在产品成本,良品率,参数一致性和产能规模等方面均具备较为明显的竞争优势,细分市场占有率不断上升,市场地位和市场影响力不断增强.目前公司已扎根于分工严密的国际半导体供应链中,大直径硅材料直接销售给日本,韩国等国的知名硅零部件厂商.后者的产品销售给国际知名刻蚀机设备厂商,例如美国泛林集团(Lam Research)和日本东电电子(Tokyo Electron Limited, TEL),并最终销售给三星和台积电等国际知名集成电路制造厂商.报告期内,公司研发团队开展了22英寸以上半导体硅零部件所需多晶质材料的工艺攻关,取得了更多的热场优化试验数据,良品率继续提高,持续优化晶体各项理化指标所对应的工艺;公司产能逐步提升中,产品在全球刻蚀机用大直径硅材料市场的市占率也在原有基础上得到稳步提升.
 疫情中高风险地区所在的县级行政区域内的服务业小微企业和个体工商户承租我区国有企业生产经营性房屋的,2022年减免6个月租金,其他地区第一季度租金减免,第二季度租金推迟到下半年征收;我区企业所得税优惠政策,在落实好西部大开发企业所得税15%优惠税率政策的同时,充分用好中央赋予我区的企业所得税地方分享部分减免政策.
  据了解,近年来,自治区不折不扣地落实落细各项减税降费政策措施,确保减税降费的"及时雨"切实惠及企业.截至目前,全区政府性基金由16项减少到5项;全区行政事业性收费项目由110项减少到26项.已实现自治区级收费项目清零,全区企业税费负担切实减轻.
  另据了解,自治区还结合工业经济发展实际,借鉴兄弟省区具体措施办法,研究印发了"自治区促进工业经济平稳增长行动方案"."行动方案"梳理国家层面促进工业经济平稳增长的支持政策,提出了自治区层面推动工业高质量发展的具体举措,共计19条.