フッ化タングステン(VI)
六フッ化タングステンもしくはフッ化タングステン(VI)はWF6の組成式で表されるフッ素とタングステンからなる無機化合物である。腐食性を有する気体または液体である。25100kPaにおいて気体である既知の物質の中で最も重い物質の一つであり、その密度はおよそ13 g/Lと空気の約11倍重い。WF6は集積回路やプリント基板の製造において低抵抗の金属配線層を形成するのに利用される。これは化学気相蒸着法を用いて基板上でWF6を分解させることによって金属タングステンを堆積させるものである。
Q650
フッ素
Concept
Q743
タングステン
Concept
Q190065
無機化合物
Concept
Q11432
気体
Concept
Q11435
液体
Concept
Q80831
集積回路
Concept
Q173350
プリント基板
Concept
Q505668
化学気相蒸着法
UNK
Q418962
フッ化タングステン(VI)
Concept
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