Objeto de teste (também conhecido como corpo de prova ou componente): componente único, agregado ou sistema inspecionado para limpeza.
Ocupação do filtro: área de superfície do filtro de análise coberta por partículas, expressa em percentagem.
Padrão de partículas: substrato marcado com objetos de formato e tamanho conhecidos, utilizados para verificar se os sistemas de análise óptica estão calibrados de forma correta.
Parâmetros de extração: totalidade de todos os parâmetros físicos que influenciam a extração, que pode ser ativada ou calculada a partir do aparelho de extração.
Procedimento de inspeção: termo utilizado para descrever a sequência completa de todas as etapas de trabalho(etapas preparatórias, extração, filtração, análise) realizada no decurso da inspeção de limpeza.