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Tecnologia em semicondutores, ZEISS a bordo
Tecnologia inovadora com óptica de precisão
O desempenho, em constante melhoramento, dos suportes de memória e processadores ou chips continua, cada vez mais, a definir as nossas vidas. Ele proporciona precisão nas menores superfícies. As fábricas de chips da indústria de semicondutores dependem bastante das lentes de alto desempenho da ZEISS para a litografia óptica. A solução representa o próprio núcleo da produção de chips em série.
A imagem acima mostra uma lente de litografia. Um funcionário da Carl Zeiss está segurando uma placa na qual o seu rosto é refletido
Se uma pessoa com o know-how de hoje voltasse no tempo, quando Carl Zeiss e Ernst Abbé fundaram a empresa, veria que a óptica de precisão teria sido uma tecnologia fundamental.
Os limites de possibilidades em pesquisa fundamental foram sendo gradualmente ultrapassados. Consequentemente, os métodos de fabricação necessários para essa pesquisa e os instrumentos ópticos necessários para esses métodos foram, também, mais desenvolvidos para acompanhar esta evolução. A Carl Zeiss estava e está na vanguarda.
A necessidade crescente de armazenar mais informação em suportes cada vez menores, combinada com as velocidades de transmissão de dados ainda mais altas em qualquer lugar , leva a indústria da microelectrônica a usar componentes eletrônicos cada vez mais compactos, com estruturas ainda menores.
Os chips têm estruturas com dimensões na faixa dos 100 nm (= um décimo de um micrômetro). Não está previsto um fim para este desenvolvimento. No campo da produção de microchips em série, que foi somente possível com o auxílio dos sistemas ópticos da ZEISS, a qualidade e o controle de processo devem, em particular, acompanhar este desenvolvimento.
Controle é importante...
Quando os erros do retículo surgem durante a exposição e são transferidos para os chips de produção em série, isto é, naturalmente, sinônimo de funções defeituosas em massa. É impossível imaginar o que significa para a produtividade e os custos quando o erro não é detectado até que alguns milhares de chips inutilizáveis já tenham sido produzidos.
Por esta razão, é necessário ter a capacidade de localizar e eliminar erros numa fase inicial. Quanto menores e mais poderosos forem os chips, mais importante é a capacidade de inspecionar os seus retículos, com intensidade suficiente para verificar anomalias antes de usá-los em produção em massa. Isto acontece com lentes de alto desempenho.