Motheong oa temana ena, ka kopo fana ka lenane la lintlha tsa bullet tsa lits'ebetso tse sebelisitsoeng ho lokisa lisebelisoa tsa semiconductor bakeng sa li-circuits tse kopaneng (ICs).
Context:Ho na le motsoako oa mekhoa e sebelisoang ho lokisetsa thepa ea semiconductor bakeng sa ICs. Mokhoa o mong o bitsoa thermic oxidation, o etsang silicon dioxide holim'a silicon. Sena se sebelisoa e le lesoba le thibelang likokoana-hloko le oxide ea tšimo. Mekhoa e meng e bitsoa photomasks le photolithography. Tshebetso ena ke eona e etsang hore ho be le mekhoa ea potoloho ea potoloho e kopaneng. Leseli la mahlaseli a kotsi le sebelisoa hammoho le lera la photoresist ho etsa phetoho ea lik'hemik'hale e hlahisang mekhoa ea potoloho.  Ntho e latelang e hlokahalang ke ho betla. Karolo ea silicon e neng e sa koaheloa ke lera la photoresist ho tloha mohatong o fetileng joale e ka ngoloa. Mokhoa o ka sehloohong o sebelisoang kajeno o bitsoa ho betla ka plasma. Ho etsisa ka plasma hangata ho akarelletsa ho pompa khase e etsisang ka kamoreng e nang le khatello e tlaase ho etsa plasma. Khase e tloaelehileng ea etch ke chlorofluorocarbon, e tsejoang ka ho fetisisa e le Freon. Matla a phahameng a maqhubu a seea-le-moea pakeng tsa cathode le anode ke 'ona a etsang hore ho be le plasma ka kamoreng. Leqhubu la silicon le holim'a cathode, e leng se etsang hore le otloe ke li - ion tse nang le matla a maholo tse tsoang ka har'a plasma. Sena se fella ka silicon e betliloeng ka tsela e sa tloaelehang.  Ts'ebetso ea ho qetela e bitsoa ho hasana. Ena ke mokhoa o fanang ka thepa ea semiconductor thepa ea eona e lakatsehang ea semiconductor. E boetse e tsejoa e le doping. Ts'ebetso ena e kenyelletsa athomo e sa hloekang tsamaisong, e etsang hore p<unk>n e kopane. E le hore liathomo tse sa hloekang li kenngoe ka har'a silicon wafer, pele wafer eo e kenngoa ka kamoreng e nang le mocheso oa likhato tse 1.100 tsa Celsius. Liathomo li kenngoa ka har'a silicon' me qetellong li qhalana le eona. Ka mor'a hore mokhoa ona o phetheloe'me silicon e fihlele mocheso oa kamore, ho kenngoa ha eona ka har'a ntho e itseng ho phetheloa'me thepa ea semiconductor e se e loketse ho sebelisoa ka har'a potoloho e kopaneng.
- Ho futhumala ka mocheso - Photomasks/photolithography - Ho betla (haholo-holo ho betla ka plasma) -Ho hasana ha lithethefatsi/ho sebelisa lithethefatsi