Lórí ìpìlẹ̀ àyọkà yìí, jọ̀wọ́ fún wa ní àkọsílẹ̀ àwọn ìgbésẹ̀ tí a lò láti ṣètò àwọn ohun èèlò aró-ìmọ̀ fún àwọn àyíká tí ó so kọ́ra (ICs).
Context:Àpapọ̀ àwọn ìgbésẹ̀ tí wọ́n máa ń lò láti ṣètò àwọn ohun èlò aró tí wọ́n fi ń ṣe IC. Ọ̀nà kan tí wọ́n máa ń gbà ṣe é ni pé wọ́n máa ń fi ooru ṣe é, èyí tó máa ń mú kí èròjà silicon dioxide wà lórí sítáṣì náà. Eyi ni a lo gẹgẹbi insulator ẹnu-ọna ati oxide aaye. Àwọn ọ̀nà mìíràn tí wọ́n ń lò ni wọ́n ń pè ní photomasks àti photolithography. Ilana yii ni ohun ti o ṣẹda awọn apẹrẹ lori iyika ninu iyika ti a ṣepọ. A máa ń lo ìmọ́lẹ̀ aláwọ̀ àlùkò pa pọ̀ pẹ̀lú ọ̀rá tí wọ́n fi ń gba ìmọ́lẹ̀ láyè láti mú kí àwọn èròjà kẹ́míkà yí padà, èyí tó máa ń mú kí àyípadà tó bá wáyé nínú àyíká náà wáyé.  Iṣẹ́ tí wọ́n máa ń ṣe lẹ́yìn náà ni gbígbẹ́. Apá ti silisiomu ti a ko bo nipasẹ awọn photoresist Layer lati awọn ti tẹlẹ igbese le bayi wa ni etched. Ọ̀nà pàtàkì tí wọ́n ń gbà ṣe é lóde òní ni èyí tí wọ́n ń pè ní plasma etching. Fífi omi ṣe àdàpọ̀ omi sábà máa ń ní í ṣe pẹ̀lú lílo gáàsì tí a fi ń ṣe àdàpọ̀ omi tí a fi omi ṣe àdàpọ̀ omi sínú yàrá tí a fi omi ṣe àdàpọ̀ omi láti ṣe àdàpọ̀ omi. Èròjà tí wọ́n sábà máa ń lò láti fi ṣe é ni chlorofluorocarbon, tàbí Freon tí àwọn èèyàn mọ̀ dáadáa. Àpapọ̀ ìfúnpá tí ó ga jùlọ láàárín cathode àti anode ni ó ń dá plasma sínú yàrá náà. Àpótí silikoni náà wà ní orí katódì, èyí tí ó mú kí àwọn ion tí wọ́n fi ẹ̀mí rere kún inú rẹ̀ tí wọ́n tú jáde láti inú ẹ̀rọ plasma. Ìyọrísí rẹ̀ ni silíkiónì tí wọ́n fi ọ̀nà tí kò bára dé ṣe.  Ìgbésẹ̀ tó kẹ́yìn yìí ni wọ́n ń pè ní fífa nǹkan jáde. Eyi ni ilana ti o fun awọn ohun elo semiconductor awọn ohun elo semiconductor ti o fẹ. Wọ́n tún máa ń pè é ní doping. Ìgbésẹ̀ yìí máa ń mú kí átọ́ọ̀mù aláìmọ́ kan wọ inú ètò náà, èyí tó máa ń dá ìsopọ̀ p<unk>n sílẹ̀. Kí àwọn èròjà tó jẹ́ aláìmọ́ tó wà nínú àwọn èròjà náà tó lè di èyí tí wọ́n ń pè ní silicon wafer, wọ́n á kọ́kọ́ gbé wafer náà sínú iyàrá kan tí wọ́n ti ń mú kó móoru gan-an, ìyẹn iyàrá kan tí wọ́n ti ń mú kó móoru gan-an. Wọ́n á fi àwọn átọ́ọ̀mù náà sínú rẹ̀, wọ́n á sì dà pọ̀ mọ́ sítíkónì náà níkẹyìn. Lẹ́yìn tí ètò náà bá parí tí sìlíọ̀nù náà sì ti dé inú iyàrá, ètò ìfúnpá náà ti parí tí ohun èlò alágbèéká náà sì ti wà ní sẹ́gbẹ̀ẹ́ láti lò nínú àyíká tí ó so kóòtù pọ̀.
- Ìmúdàpọ̀ nínú ooru -Fótómásìkì/fótólítógíràfíìkì - Fífi nǹkan gùn (ní pàtàkì fífi nǹkan gùn pẹ̀lú omi inú omi) - Ìkápá/ìdánilórúkọsílẹ̀