Машини и апарати за производство на полупроводникови прибори или електронни интегрални схеми (без инструментални машини, работещи чрез отнемане на материал и опериращи чрез ултразвук)
Machines and apparatus for the manufacture of semiconductor devices or of electronic integrated circuits (excluding machine tools for working any material by removal of material operated by ultrasonic processes)