Following the development of clean rooms to reduce contamination to levels never before thought necessary, and of photolithography and the planar process to allow circuits to be made in very few steps, the Si–SiO2 system possessed such technical attractions as low cost of production (on a per circuit basis) and ease of integration.
پس از توسعه اتاق تمیز به منظور کاهش آلودگی به سطوح پیش از این فکر لازم است، و و فرایند دو وجهی اجازه می‌دهد تا مدارات را در مراحل بسیار کمی ساخته شده باشد، این نوع سیستم SiO2 دارای جاذبه‌های فنی به عنوان هزینه پایین تولید (بر اساس هر مدار) و سهولت یکپارچه سازی است.