For the purpose of 3B001.e., ‘semiconductor process tools’ refers to modular tools that provide physical processes for semiconductor production that are functionally different, such as deposition, etch, implant or thermal processing.
A los efectos del subartículo 3B001.e., las ‘herramientas de proceso de semiconductores’ designan herramientas modulares que efectúan para la producción de semiconductores procesos físicos funcionalmente diferentes como el depósito, el grabado, la implantación o el tratamiento térmico.