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  第一次製備三氟甲烷是由法國化學家(Maurice Meslans)在1894年用碘仿和乾燥氟化銀產生劇烈反應而產生。後來(Otto Ruff)將氟化銀改成氟化汞和氟化鈣的混合物,改善了製備的過程。上述的交換反應可以使用碘仿及溴仿,不過交換前二個鹵素原子時,會產生劇烈反應。後來愛伯特·亨納(Albert Henne)將上述的反應變成二階段的反應,第一階段用溴仿和三氟化銻合成一溴二氟甲烷,再和氟化汞反應產生三氟甲烷,這是第一個有效率製備三氟甲烷的方法。

  在半導體產業中,三氟甲烷用在二氧化矽及氮化矽的電漿蝕刻(plasma etching)中。三氟甲烷也是一種製冷劑(冷媒),名稱為R-23或HFC-23,因為其不含氯,不會造成臭氧層破洞,有時會用來會取代造成臭氧層破洞的三氟氯甲烷(cfc-13)。  三氟甲烷因為其低毒性、不容易反應及高密度,可用作滅火劑使用。此時常使用杜邦的商標名稱FE-13代表三氟甲烷。三氟甲烷過去曾用來取代氣體滅火系統中的海龍1301(cfc-13b1)。

  三氟甲烷在去質子化後是一種提供CF的試劑,分子為弱酸性,pK為25–28。三氟甲烷是CFSi(CH)的前體。

  三氟甲烷是強力的溫室氣體。依京都議定書中清潔發展機制祕書處的評估,其100年的全球暖化潛勢為11,700,也就是一公斤的三氟甲烷在一百年對溫室效應的影響效果和11,700的二氧化碳相當。後來評估的結果(IPCC, 2007),其100年的全球暖化潛勢又高於原估測值,為14,800。其在大氣中的生命期為270年。  根據政府間氣候變化專門委員會(IPCC)2007年的氣候報告,三氟甲烷是2001年前大氣中丰度最高的氫氟碳化合物。自2001年起才被車用空調製冷劑的HFC-134a(1,1,1,2-四氟乙烷)所超越。過去三氟甲烷的排放,大部分是在製造製冷劑HCFC-22(一氯二氟甲烷)時無意產生及釋放的產物。  依照聯合國氣候變化框架公約的溫室氣體排放資料 來看,1990年至2000年在公約中附件1的國家(發達國家)中HFC-23的排放量有顯著的下降。聯合國氣候變化框架公約及清潔發展機制自2003年起已提供資金給公約中不在附件1的國家,幫助這些國家減少在製造HCFC-22時無意排放的三氟甲烷。依世界氣象組織的臭氧部分資料來看,近年來開發中國家已成為最大的HCFC-22供應者。京都議定書管制所有氫氟碳化合物(HFC)的排放。三氟甲烷可以用電漿或都用高溫焚燒的方式破壞,以減輕其對環境的影響。
氟仿,即三氟甲烷,是一種化學式為CHF的有機化合物,是滷仿的一種。常溫下是無色的氣體,分子量為70.01g/mol。