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  滲氮製程是依照加氮的介質來命名。主要可以分為三種:氣體滲氮、鹽浴滲氮及電漿滲氮。

  氣體滲氮的加氮介質是富含氮的氣體,多半是氨(NH),因此有時也稱為氨滲氮(ammonia nitriding)。氨和加熱的工件表面接觸時,氨會分解為氮及氫。氮會滲透到工件表層,形成氮化層。在一世紀之前就已有此一製程,但最近數十年才比較多的探討其中的熱力學及反應動力學。近來的研究已產生可以準確控制的製程。可以選擇氮化層的厚度,以及其中的相組成,也可以針對所需要的特殊性質進行製程的最佳化。  氣體滲氮的優點有:  氣體滲氮的缺點有:

  鹽浴滲氮的富氮介質是含氮的鹽類,例如氮化物。這種鹽也會釋放碳到工件的表面,因此也是滲氮碳化。在滲氮碳化使用的溫度約是550至570 °C。鹽浴滲氮的好處是相較於其他方式,此方式可以在相同時間內有較高的滲透量。  鹽浴滲氮的優點有:  缺點是:

  電漿滲氮也稱為離子滲氮、電漿離子滲氮、輝光放電滲氮,是工業上針對金屬材料進行表面硬化的方式。  在電漿滲氮時,氮介質的反應能力不是由溫度決定,而是由氣體的離子態決定。此技術中會用高電場使要氮化工件表面的氣體產生離子化的分子。這種高反應性的氣體伴隨著離子化的分子,稱為電漿,此製程因此稱為電漿滲氮。電漿滲氮用的氣體一般是純氮氣,因此不需要自發性的分解(像使用氨的氣體滲氮就需要分解)。有用電漿炬產生的熱電漿,用在金屬切割、焊接、金屬包覆及噴塗上。也有在真空腔體或是低壓強條件產生的冷電漿。  鋼在電漿滲氮的效果最好。此製程可以針對滲氮的微結構進行精細的控制,可以讓滲氮產生化合物層,或是不要化合物層。不但強化下了金屬部分的效能,也增加了工件的壽命、應力限及疲勞強度。例如沃斯田鋼不鏽鋼的機械性質(例如耐磨程度)可以顯著提升,工具鋼的表面硬度也可以加倍。  電漿滲氮後的工件一般就可以使用了,不需加工或是其他滲氮後的製程。此製程對使用者很友善,作業很快,節省能源,而且變形量不大,或甚至不會變形。  此製程是由德國的Bernhardt Berghaus博士所發明。後來在1960年代,Klockner集團採用了此一技術,電漿滲氮法也開始廣為在世界各地使用。  電漿滲氮常會和物理氣相沉積(PVD)製程結合,稱為複合處理(Duplex Treatment),而且有增強性的效果。許多使用者會在最後一個步驟讓工件表面有電漿氧化層,產生光滑的黑色氧化層,可以抗腐蝕及抗磨損。  電漿滲氮的氮離子是因為電漿而產生,和氣體滲氮及鹽浴滲氮不同,電漿滲氮的效率不受溫度的影響。電漿滲氮的工作溫度範圍很廣,從260 °C到超過600 °C的溫度範圍。例如在中等溫度(例如420 °C),可以對不鏽鋼進行滲氮,不會形成氮化鉻的析出,因此可以維持不鏽鋼抗蝕的特性。  在電漿滲氮製程中,一般會用氮氣N作為富含氮的介質。有時也會用氫氣或是氬氣等氣體。在滲氮之前,可以在加熱工件時用氫氣或是氬氣,清潔要滲氮的表面。此清潔程式可以有效的移除表面的氧化層,或是表面可能會殘留的薄層溶劑。也有助於電漿製程的熱穩定性,因為在預熱工件時就已經有電漿進行加熱,因此只要到達製程需要的溫度,就可以開始進行滲氮,不會有太大的熱能變化。在滲氮製程中也會加入氫氣H,使表面不會有氧化層。可以用分析滲氮工件的表面來檢測此效果。

  容易滲氮的鋼材包括有SAE鋼等級 41xx鋼、4300、5100、6100、8600、8700、9300及9800系列,英國航空品質鋼等級的BS 4S 106、BS 3S 132、905M39(EN41B)、不鏽鋼、部分工具鋼(例如H13和P20)及部分的鑄鐵。理想上,適合滲氮的鋼需在硬化及回火條件下,讓滲氮時的溫度比最後一次的回火溫度要低,最好有表面處理。 在滲氮後應磨除少量表面,以維持其表面硬度。  適合滲氮的合金鋼是鋼中有些元素會和氮形成氮化物元素,這些元素有鋁、鉻、鉬及鈦。

  自從1920年代起,就開始有關氮對鋼鐵表面性質影響的系統性研究。德國和美國都有有關氣體滲氮的研究。德國相當重視此一研究,想要針對許多等級的鋼進行滲氮,即為所謂的滲氮鋼(nitriding steel)。美國對滲氮的接受度不高,由於需求很少,在美國也已遺忘此一技術。在第二次世界大戰後,歐洲重新引入此一技術。最近數十年有許多研究是在瞭解滲氮過程中的熱力學以及動態機制。
滲氮(Nitriding)也稱為氮化,是金屬的熱處理製程,將氮擴散到金屬表面,以形成硬化的表面.滲氮製程最常用在低碳鋼、低合金鋼上,也會用在中碳鋼或高碳鋼、含鈦、鋁、鉬等合金鋼上。2015年時,已用滲氮來產生獨特的二元微結構(馬氏體-奧氏體,奧氏體-肥粒鐵),這些結構具有強化的機械性質