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  1740年,普魯士腓特烈大帝在奧地利王位繼承戰爭(1740-1748年)之中絕大部分的西里西亞合併到普魯士版圖之內。戰爭完結的時候,普魯士已經佔領了西里西亞的大部分,只有東南方的一小部分仍然屬於奧地利,例如切申公國和奧帕瓦公國,成為奧地利的奧屬西里西亞。  七年戰爭 (1756年-1763年)中確認了普魯士對西里西亞的統治,成為了普魯士的王家領土。1815年拿破崙戰爭之後確立了普魯士的西里西亞領土。西里西亞戰爭時期,普魯士將佔領到的西里西亞的土地和曾屬薩克森王國,鄰近格爾利茨的上盧薩蒂亞地區一同組成西里西亞省。  作為普魯士的一個省分,西里西亞於1871年普魯士領導德意志統一之後,成為了德意志帝國的一部分。之後西里西亞開始進行工業化,並引來大批人口遷入。根據1905年的資料,西里西亞三分之一人口是德國人,而奧德河以東居住的大部分是波蘭人。  在第一次世界大戰之後,部分的西里西亞地區被割讓到波蘭第二共和國和捷克斯洛伐克。1919年,仍屬於魏瑪共和國的西里西亞地區版分為下西里西亞("Niederschlesien")及上西里西亞("Oberschlesien")。在1938年至1941年之間,下西里西亞和上西里西亞曾再度合併為同一省分。  現時西里西亞的大部分的地區都屬於波蘭的國土,這些地區的大部分德國人口在二戰後被種族清洗。有一小部分的西里西亞地區現時仍屬德國領土。
西里西亞省(; )是1815年至1919年之間普魯士的一個省分; 該省的領土是普魯士於18世紀的時候,西里西亞戰爭之中,從哈布斯堡王朝手上奪得的。西里西亞省的首都是佈雷斯勞。在1919年魏瑪共和國時期,西里西亞省分為上西里西亞和下西里西亞省。1938至1941年期間,兩省又曾重新合併。