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  準分子是一種半衰期非常短暫的分子狀態,由同種原子或者異種原子組合而成。其中一種原子的價電子層必須是全滿的(比如稀有氣體)。如果兩種原子都處於基態,它們是不能形成化學鍵的。但如果價電子全滿的那個原子處於激發態,它們之間就能夠暫時形成化學鍵。儘管這種化學鍵的壽命往往非常短,只在納秒的量級。準分子可以通過自發輻射或受激輻射,釋放出光子回到基態,基態的分子更加不穩定,經過幾個皮秒的時間,衰變成兩個未成鍵的原子。

  準分子鐳射由Nikolai Basov, V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人於1970在莫斯科物理研究所發明。使用電子束激發氙氣二聚體,產生的準分子鐳射波長為172nm。  1975年包括美國政府的海軍研究實驗室、諾思羅普研究和技術中心,Avco Everett研究實驗室,和美國桑迪亞國家實驗室在內的多家政府研究機構研究利用電子束激發惰性氣體鹵化物。  1979年西德Lambda Physik公司生產出第一臺商業用準分子鐳射器。  迄今為止已經發現的能夠產生準分子鐳射的氣體有10多種。

  準分子鐳射的波長取決於所用的氣體,一般處於紫外光波段。

  目前準分子鐳射已廣泛應用在臨床醫學以及科學研究與工業應用方面,如:鑽孔、標記表面處理、鐳射化學氣相沉積、物理氣相沉積、磁頭與光學鏡片、矽晶圓的清潔、微機電系統相關的微製造技術等等。  準分子鐳射於90年代始在醫學上得到運用,主要有:
準分子鐳射(英文:Excimer laser)是一種紫外氣態鐳射,處於激發態的惰性氣體和另一種氣體(惰性氣體或鹵素)結合的混合氣體形成的分子,向其基態躍遷時發射所產生的鐳射,稱為準分子鐳射。