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  大量的四氟化矽是工業上生產磷肥的副產物。氟磷灰石經硫酸處理後,會生成大量的氫氟酸;氫氟酸再與含矽礦石發生反應,生成揮發性的四氟化矽氣體。  實驗室製法是用氟矽酸與氯化鋇反應沉澱出氟矽酸鋇, 再加熱氟矽酸鋇至300 °C以上,使之分解生成四氟化矽和氟化鋇。同族的四氟化鍺也可通過這個方法制備,但需要更高的分解溫度(700 °C)。  除此之外,四氟化矽還有很多其他製取方法,包括氟矽酸鈉與硫酸反應,矽與氟單質化合,二氧化矽與濃氫氟酸或活潑氟化物反應(即毛玻璃的製作和刻畫原理),以及赤熱的矽與無水氟化氫反應等。將粗品通過灼熱的玻璃毛,再在低溫用冷肼收集,便可除去其中的氟化氫、水等雜質。

  用於氟矽酸及氟化鉛的製取,也用作水泥和水磨石(人造大理石)的硬化劑,有機矽化合物的合成材料。
四氟化矽(化學式:SiF)是最常見的矽氟化物。無色氣體,遇水發生水解生成氟矽酸,在潮溼空氣中發煙。沸點僅高於熔點4 °C。首先由戴維在1812年合成。