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  三甲基矽烷化重氮甲烷可通過(三甲基矽基)甲基氯化鎂與疊氮磷酸二苯酯反應制備。

  三甲基矽烷化重氮甲烷是一種商業市售試劑,常用於有機化學中的甲基化試劑。它可用於羧酸的甲酯化反應中,以替代較易爆炸的重氮甲烷;它還可與醇類發生反應以製備甲醚,而重氮甲烷則不可。  它可廣泛的應用於氣相色譜法-質譜聯用分析技術,以將多種天然的羧酸化合物衍生化以分析檢測。該反應過程迅速且易於操作使得該法被化學家所青睞,然而該反應會形成多種雜質而干擾光譜,雜質通常是因反應中甲醇的不足而產生的三甲基矽基酯化合物RCOCHSiMe。因此酸催化的甲醇解反應對於得到幾乎定量的甲酯化產物RCOMe很必要。  三甲基矽烷化重氮甲烷是硫葉立德[2,3]-σ重排反應(也稱為“多伊爾–柯姆斯反應”,Doyle–Kirmse reaction)中製備烯丙基硫化物和烯丙基胺的反應試劑。

  雖然三甲基矽烷化重氮甲烷的爆炸性比重氮甲烷的較弱,但其具有一定的毒性。當三甲基矽烷化重氮甲烷被用於轉化羧酸至相應甲酯時,它會經由甲醇解反應在程序中產生重氮甲烷。當人體吸入三甲基矽烷化重氮甲烷,會與肺部表面的水氣發生相似的反應。所以吸入三甲基矽烷化重氮甲烷可能也會導致與吸入重氮甲烷類似的症狀(如肺水腫)。這使得三甲基矽烷化重氮甲烷吸入後有潛在的致命性,已有至少兩人的死亡與吸入三甲基矽烷化重氮甲烷有關聯,他們分別是加拿大新斯科舍溫莎的製藥工人和新澤西的化學家。
三甲基矽烷化重氮甲烷是一種分子式為(CH)SiCHN的重氮化合物,因其相對不易爆炸而被廣泛的應用於化學試劑重氮甲烷的替代品。