Can you summarize the following document?
        
  能量色散X射線譜主要由以下四部分組成:  電子束激發源被用於電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡和掃描透射電子顯微鏡中,而X射線激發源被用於X射線熒光光譜儀中。X射線探測器可將X射線能量轉換為電訊號;訊號隨後被髮送至脈衝處理器進行測量並傳送到分析儀進行分析。過去最常見的探測器是矽鋰(SiLi)探測器,需要用液氮冷卻才能工作。如今的新系統常配置矽漂移探測器,計數速度更快,且僅需在熱電冷卻(甚至於室溫)下就可以工作。

  高能級的電子在填充低能級的空穴時所出現的能量差不一定都以X射線的形式放出,也可以轉嫁給另一外層電子,使其獲得足夠的能量而逸出原子。這類逸出的電子被稱作俄歇電子,而通過測量俄歇電子對樣品進行分析的手段被稱作俄歇電子能譜學(AES)。  X射線光電子能譜學(XPS)是另一種和能量色散X射線譜相關的分析手段,測量的是被X射線激發的內層電子的能量。XPS可用於測定樣品的化學組分;通過對化學位移的測量還可以分析特定元素所處的化學環境,由此確定該樣品的實驗式。  能量色散X射線譜(EDS)常常被拿來和WDS(wavelength dispersive X-ray spectroscopy,波長色散X射線譜)相互對比。WDS和EDS不同的地方在於,WDS利用X射線在特定晶體上的衍射將不同波長的X射線分離開來進行測量。WDS的能量解析度最高可達到幾個eV,高於EDS的解析度(130eV)兩個數量級。WDS也沒有EDS中常出現的一些非實驗因素,例如和峰(sum peak)、逃逸峰(escape peak)、重疊峰等等。但WDS所需的實驗週期較長,且需要經過培訓才能熟練操作,因此EDS較WDS來說更為常見。
能量色散X射線譜(Energy-dispersive X-ray spectroscopy,英文縮寫有EDS、EDX、EDXS或XEDS),有時也被稱作能量色散X射線分析(energy dispersive X-ray analysis,EDXA)或能量色散X射線微量分析(energy dispersive X-ray microanalysis,EDXMA)是一種用於元素分析和化學表徵的分析手段。該手段通過收集X射線機或其他X射線源產生的X射線和樣品相互作用時發出的X射線進行分析。由於不同元素因原子結構不同而發射譜各異,所以可以通過分析X射線譜分辨樣品所含的不同成分。