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  四配位的矽原子取四面體結構,Si–O鍵鍵長為1.64 Å(相比Si–C鍵長短得多,後者為1.92 Å)。Si–O–Si鍵鍵角為142.5°。作為比較,醚類中的碳氧鍵鍵長為1.414(2) Å,C–O–C鍵角為111°。由於鍵長更長,鍵角更大,矽氧烷骨架中Si–O鍵旋轉的位阻要比醚類小。這種特性導致矽氧烷玻璃化轉變溫度低等性質。

  矽氧烷主要通過矽烷醇的脫水縮合製備: 而矽烷醇通常是氯矽烷原位水解得到的。雙分子矽烷醇脫水得到含兩個矽的RSi(OH),進一步脫水,能得到長鏈產物: 或環狀產物: 三矽烷醇的脫水縮合可得到籠形結構的矽氧烷,通式為(RSi)O。立方體的"n" = 8(類似於立方烷);六方柱的"n" = 12。

  有機矽氧烷完全氧化得二氧化矽。例如六甲基環三矽氧烷的燃燒反應:  強鹼作用下矽氧鍵斷裂水解,得到矽烷醇的共軛鹼: 此反應也被用於製造矽烷醇。以及將環狀矽氧烷轉化為鏈狀。

  矽氧烷有一套縮寫符號,基於組成分子的不同基團: M-基團:(CH)SiO, D-基團:(CH)SiO, T-基團:(CH)SiO。

  鏈狀矽氧烷具有高粘度和不揮發的性質,低化學活性,並且絕緣。用於填縫劑、潤滑劑等。  甲基環矽氧烷為(-O-Si(CH)-)單元構成的環狀化合物,具有低粘度和高揮發性,用於清潔劑, 以及化妝品的使用。環矽氧烷的生物降解產生矽烷醇。

  矽氧烷被廣泛用於醫療和化妝品,因此有諸多實驗驗證其安全性。實驗顯示LD>50 g/kg,近似認為無毒。然而矽氧烷可能對水生動物具有毒性。有報告稱甲基環矽氧烷L和L會在水生動物體內累積。然而,不同的實驗室研究得到專案矛盾的結果,其環境安全性仍不甚明確。  在歐盟,D和D被認定具有毒性而受到REACH法案管制。加拿大將D納入治汙的規範。而加拿大的一項2011年的報告則稱“未發現環矽氧烷D對環境的危害”。
矽氧烷(siloxane)是以矽-氧-矽鍵為骨架的一類化合物。這類以的H(OSiH)OH母體(鏈矽氧烷),或者是環狀的(OSiH)的衍生物(環矽氧烷)。含有單個矽原子的官能團RSi-O-則稱烷氧矽基(siloxy)。