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  磷酸三甲酯是一種有機試劑,常溫下穩定,在各種樹脂中的溶解度良好,粘度低,色相低,所以可用作特殊溶劑;環氧樹脂新增劑;聚酯纖維加工時的防著色劑;紡織用油劑;用作汽油新增劑,可防止爆震,改善辛烷值,提高加鉛汽油存貯時的穩定性;也可用作汽油表麵點火的控制劑,高溫時四乙基鉛分解抑制劑;非腐蝕性汽油新增劑;聚酯纖維聚合時的催化劑;石墨製品的改性劑;增塑劑;萃取劑;農藥殺蟲劑原料。磷酸三甲酯遇水發生水解,故儲存時要防潮。由於其水解而釋放出PO,從而成為形成難溶磷酸鹽沉澱的均相沉澱劑,常被用作鋯、<unk>的沉澱試劑和測定半導體的擴散源。此外,磷酸三甲酯也是一種磷脂類萃取劑,用於萃取分離某些金屬離子。

  三氯氧磷與甲醇在碳酸鉀存在下反應生成磷酸三甲酯。同時反應生成磷酸二甲酯鉀鹽,則用硫酸二甲酯反應生成磷酸三甲酯。磷酸三甲酯粗產品經水洗、脫色、脫水、減壓蒸餾得成品。
磷酸三甲酯是一種無色透明液體。 易溶於水,溶於乙醚,但難溶於乙醇。