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  語言學家和律師拉斐爾·萊默金(Raphael Lemkin)在1943年首先使用希臘詞根genos指種族(英語:race)、人群(英語:people)和拉丁語字尾cide(殺害)創造了genocide(種族滅絕)一詞,同時提出ethnocide(希臘詞根ethnos,意為人類、族群或人種)作為等價概念,但後者在當時並沒有被廣泛使用。  1948年起草,1951年通過的防止及懲治危害種族罪公約的起草者曾考慮過使用ethnocide,但最後並沒有使用。公約將種族滅絕定義為“蓄意全部或區域性消滅一民族、人種、種族或宗教團體,包括殺害該團體的成員;致使該團體的成員在身體上或精神上遭受嚴重傷害;故意使該團體處於某種生活狀況下,以毀滅其全部或區域性的生命;強制施行辦法,意圖防止該團體內的生育;強迫轉移該團體的兒童至另一團體之一種行為者即為滅絕種族罪”(《防止及懲治滅絕種族罪公約》 第2條)。  1994年的聯合國原住民人民權利宣言草案採用了「種族文化滅絕」一詞,但未明確定義;相關「種族文化滅絕」的內容如下:  「種族文化滅絕」一詞最終未在2007年的聯合國原住民人民權利宣言通過的決案中出現,雖內容和草案大致一致: 1994年聯合國原住民人民權利宣言草案中,“族群滅絕”作為獨立字詞置於種族滅絕(英語:genocide)與文化滅絕(英語:cultural genocide)兩詞之間。但2007年最終稿考量時改為“genocide”。  有時「種族文化滅絕」一詞用來取代「文化滅絕」,然而這用法混淆了族群(英語:ethnicity)與文化的不同概念。舉例來說,塔利班藉口以伊斯蘭教義破壞巴米揚大佛的行為,被世界各地的伊斯蘭領袖稱為是對人類做出此「文化滅絕」的破壞行為,而非侷限於特定種族。

  回顧法律和學術史的關於種族滅絕及種族文化滅絕兩詞使用差異:「種族滅絕」殺死人,而「種族文化滅絕」殺害的人的靈魂及造成社會文化之滅絕。 此外,由於「文化滅絕」只能用來描述是種族滅絕的文化面向,然而「種族文化滅絕」的概念是不僅僅是「文化」上的滅絕,更包括較廣泛的「種族滅絕」的其他過程。  由於「種族文化滅絕」和文化滅絕的概念在不同學術及法律等脈絡下有采用及停止採用的變化,研究「種族滅絕」的人類學研究亦將此納入和排除的相關法律和政策過程進行研究  人類學的定義為:「暴力地消滅一個族群作為獨特群體的集體文化認同;發生在一個占主導地位的社會故意破壞另一個社會的文化遺產」;相關例子包括1950年代中國的西藏政策、巴西1968年時對亞馬遜河流域印地安原住民的暴力對待、等等。

  

  巴哈伊信仰在伊朗是非穆斯林宗教的最大少數派。在1978年至1998年間,逾200名教徒被處決。 2006年12月16日,埃及最高法院判決,政府不承認巴哈伊宗教。 結果,埃及的巴哈伊信徒無法取得各種政府簽發的證明檔案,包括身份證、出生證、死亡證、結婚證或離婚證、護照,以及其他需要列明宗教信仰的證件。同時,他們也失去被僱傭、受教育,甚至是接受醫療服務或投票的權利。 埃及個人權利維護組織指出,最高法院大法官的新聞公告對該組織提出的陳述和異議未作任何迴應,僅僅討論了巴哈伊信仰的基本教義,而這些教義不應影響法院的判決。

  西藏流亡領袖達賴及其他流亡政治領袖於2004年控訴中國政府實施的西藏政策造成了文化滅絕,認為青藏鐵路、計劃生育等政策將或已導致西藏文化滅絕的後果,中國政府則反擊稱說由於西藏生態體系的脆弱,需要在人口上達成細膩的控制;儘管如此,部分學者認為文化滅絕一詞無法對中國政府的相關政策做出在學術上的分析。當達賴及其他流亡政治領袖控訴文化滅絕的政策,並要求文化自治時,中國官方則釋出官方白皮書,主張「文化滅絕」是「達賴集團」或散佈的謠言並提供「客觀事實」反證說明在西藏文化並沒有文化滅絕,是西方反中勢力和達賴共謀,將「文化滅絕」理論視為是要將比歐洲黑暗世紀還黑暗的封建農奴體制復辟的託詞;雙方互有來回形成國際宣傳戰</ref>。  在文化衝突方面,2010年,青海省教育廳在新制定的教學政策中要求“中學裡除藏文和英文之外的所有科目,都變為漢語教學,藏族學生也被要求用漢語回答問題”。這引發了保衛藏語的遊行。

  安達曼群島的數個原住民族群,在英國殖民政府及印度政府的歷史前後執行的以發展主義為主相關政策,使得各族群面臨性質及程度不一的族群滅絕威脅,而其中以加洛瓦族面臨的挑戰狀況最為嚴峻。

  奧地利於執行的相關政策,於1976年被南斯拉夫指控為種族文化滅絕的行為。

  語言學者E Hernández-Chávez主張美國曆史以來的語言政策是文化滅絕的歷史案例,特別在墨西哥移民是否能使用西班牙文的相關政策上,曾不重視語言權利,該狀況一直到1960年代民權運動中期的強迫自由化的言語政策改革,表現在加州及新墨西哥州等開始有的雙語政策開始,才有些許改善。  美國學者George E. Tinker主張美國早期移民史中,以傳教及傳福音的方式,亦造成對北美原住民的文化滅絕。
種族文化滅絕(英語:ethnocide)或中譯族群滅絕、 族群終結、 民族文化滅絕等等,為律師拉斐爾·萊姆金於1933年提出做為種族滅絕(英文:genocide)概念可代換的同義詞,然而因諸多歷史因素並未如種族滅絕一詞廣泛被採納 。