冷陰極離子計是從何而來的? 根據上一個問題,寫下一個包含答案的上下文. 這可以是1 - 20句. 背景:
離子測量儀在超高真空中使用. 有兩種型別:熱陰極和冷陰極. 在熱陰極版本中,一個電加熱的線材產生電子束. 電子穿過測量器, 電離周圍的氣體分子. 由此產生的離子在負電極上被收集. 電流取決於離子數量, 而離子數量則取決於儀表中的壓力. 熱陰極儀的精度從10−3 torr到10−10 torr. 冷陰極版本的原理相同,但電子在高壓電流所產生的放電中產生. 冷陰極儀的精度從10−2 torr到10−9 torr. 電離儀的校準對結構幾何,測量氣體的化學成分,腐蝕和表面沉積非常敏感. 它們的校準可以通過在大氣壓或低真空下啟用而失效. 高真空氣體的組成通常是不可預測的,因此必須使用質譜儀與電離儀一起進行準確的測量.