A seguito di una esposizione singola o prolungata per inalazione di fini o dei suoi sali, i polmoni possono diventare sensibili al berillio. La berilliosi presenta un esordio insidioso con un decorso non del tutto evidente. Alcune persone divenute sensibili al berillio possono non accusare alcun sintomo. La continua esposizione provoca lo sviluppo di piccoli noduli infiammatori, chiamati granulomi. Uno studio del 2006 ha suggerito che l'inalazione non fosse l'unico mezzo di esposizione al berillio ma anche la contaminazione cutanea poteva causare una reazione; inoltre venne riscontrato che una riduzione nell'inalazione del berillio non comportasse una altrettanta riduzione della berilliosi o la sensibilità ad esso.