A seconda del loro potenziale gli acceleratori lineari (che sono spesso ‘Dual Energy’: 4 MV, 6-18 MV 6-15 MV, 6-10 MV) possono produrre anche elettroni di diversi livelli energetici (MeV). Gli elettroni hanno una modalità di diffusione della dose differente da quella dei raggi X, poiché data la massima dose ad una profondità che dipende dalla loro energia, la dose va poi molto velocemente a pressoché zero e dunque vengono utilizzati per irradiare tessuti più superficiali, risparmiando quelli più profondi.