Il fascio di elettroni può essere prodotto con svariate tecniche: la più comune prevede l'impiego di un filamento metallico che, riscaldato al passaggio di una corrente elettrica, emette elettroni; questi passano poi attraverso alcuni diaframmi circolari (cilindro di Wehnelt) ai quali è applicata una tensione e vengono così accelerati verso il preparato.In microscopia elettronica vengono utilizzati tre fondamentali tipi di sorgente:• catodi di tungsteno (i più diffusi);• catodi di esaboruro di lantanio (LaB6);• catodi a emissione di campo.