Φθοροχλωροσιλάνιο
 Η ονομασία φθοροχλωροσιλάνιο προκύπτει αν η ένωση θεωρηθεί υποκατεστημένο σιλάνιο (SiH4), δηλαδή σιλάνιο, ένα άτομο υδρογόνου του οποίου, έχει αντικατασταθεί από ένα άτομο φθορίου, και ένα άλλο από άτομο χλωρίου. Η μοριακή δομή του φθοροχλωροσιλανίου ομοιάζει γεωμετρικά με αυτήν του φθοροχλωρομεθάνιου. Ωστόσο οι δεσμοί Si-Η είναι πολωμένοι κατά την έννοια Siδ+-Hδ-, γιατί το πυρίτιο έχει μικρότερη ηλεκτραρνητικότητα (1,90 κατά Paouling) και από τον άνθρακα (2,55 κατά Paouling) και από το υδρογόνο (2,20 κατά Paouling). Επίσης, η διαφορά ηλεκτραρνητικότητας μεταξύ πυριτίου και φθορίου (3,98 κατά Paouling) είναι πολύ μεγαλύτερη από την αντίστοιχη άνθρακα - φθορίου. Το γεγονός αυτό δίνει μεγάλο ποσοσστό ετεροπολικότητας στο δεσμό Si-F. Επίσης, και η διαφορά ηλεκτραρνητικότητας μεταξύ πυριτίου και χλωρίου (3,16 κατά Paouling) είναι πολύ μεγαλύτερη από την αντίστοιχη άνθρακα - χλωρίου. Το γεγονός αυτό δίνει μεγάλο ποσοσστό ετεροπολικότητας στο δεσμό Si-Cl. Με επίδραση φθοριούχου υφυδραργύρου σε διχλωροσιλάνιο, μπορεί να παραχθεί φθοροχλωροσιλάνιοσιλάνιο: Συμπαράγεται ως παραπροϊόν και διφθοροσιλάνιο. Με επίδραση υδροχλωρίου ή κάποιου αλκυλοχλωριδίου (RCl) σε φθοροσιλάνιο, μπορεί να παραχθεί φθοροχλωροσιλάνιο: Συμπαράγονται ως παραπροϊόντα και άλλα φθοροχλωροσιλάνια.
Το φθοροχλωροσιλάνιο (αγγλική γλώσσα:chlorofluorosilane) είναι ανόργανη χημική ένωση, που περιέχει πυρίτιο, υδρογόνο, φθόριο και χλώριο, με μοριακό τύπο SiH2ClF. Ανήκει στα ανόργανα σιλάνια, και ειδικότερα στα φθοροσιλάνια και στα χλωροσιλάνια. Ο όρος φθοροχλωροσιλάνιο επεκτείνεται και πέραν της «μητρικής» ένωσης, και αναφέρεται, επίσης, και σε μια ευρύτερη ομάδα «θυγατρικών» φθοροχλωροσιλανίων, ανόργανων και οργανικών, που περιέχουν έναν τουλάχιστον δεσμό Si-F και έναν τουλάχιστον δεσμό Si-Cl.