Kontinuierliche laterale Abtastung von Oberflächen durch axiale Regelung des Arbeitsabstandes in einem Nanokoordinatenmessgerät mit einem hochfrequent fokusabstandsmodulierten, fasergekoppelten, konfokalen Punktsensor / Lateral closed-loop scans of surfaces using a nano coordinate measuring system and a high-speed focal-distance modulated fibre-coupled confocal sensor
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