Контроль параметров микрорельефа дифракционных оптических элементов с использованием тестовых дифракционных структур
Vestnik Samarskogo gosudarstvennogo tehničeskogo universiteta. Seriâ: Fiziko-matematičeskie nauki/Vestnik Samarskogo gosudarstvennogo tehničeskogo universiteta. Seriâ Fiziko-matematičeskie nauki