High temperature decomposition and age hardening of single-phase wurtzite <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML"><mml:mrow><mml:msub><mml:mi>Ti</mml:mi><mml:mrow><mml:mn>1</mml:mn><mml:mo>−</mml:mo><mml:mi>x</mml:mi></mml:mrow></mml:msub><mml:msub><mml:mi>Al</mml:mi><mml:mi>x</mml:mi></mml:msub><mml:mi mathvariant="normal">N</mml:mi></mml:mrow></mml:math> thin films grown by cathodic arc deposition
Physical review materials