For the purpose of 3B001.e., ‘semiconductor process tools’ refers to modular tools that provide physical processes for semiconductor production that are functionally different, such as deposition, etch, implant or thermal processing.
Aux fins de l’alinéa 3B001.e, on entend par “instruments de traitement des semi-conducteurs” les instruments modulaires qui permettent des traitements physiques pour la production de semi-conducteurs, différents du point de vue fonctionnel, tels que le dépôt, la gravure l’implant et le traitement thermique.