‘Silicon based resonators’ are components that consist of microelectronic or mechanical structures that are created in the mass or on the surface of a semiconductor and have the function of generating a mechanical or electrical oscillation of a predefined frequency that depends on the physical geometry of these structures in response to an external input.
Les “résonateurs au silicium” sont des composants qui sont constitués par des structures microélectroniques ou mécaniques qui sont créées dans la masse ou à la surface d'un semi-conducteur et dont la fonction est de générer une oscillation mécanique ou électrique d'une fréquence prédéfinie qui dépend de la géométrie physique de ces structures en réponse à un apport externe.