З початком 1990-их років, область застосування цієї групи методів, поширилась за рахунок появи та масового виробництва мікроелектромеханічених систем (МЕМС), аналітичних мікросистем, твердих дисків, рідкокристалічних дисплеїв, сонячних панелей тощо. Завдяки спільним рисам оригінальних технологічних методів, що набули поширення, та їх універсальності, ці технології сформувались до кінця XX ст. у науково-технічний напрям, що отримав назву «мікротехнологія». Мініатюризація різноманітних пристроїв, вимагає при їх виготовленні залучення досягнень різних галузей науки і техніки: фізики, хімії, матеріалознавства, інформатики, вакуумної техніки, гальванотехніки. До основних фізико-хімічних процесів, що знайшли застосування у мікротехнології належать: