До Ушицького повіту входила територія сучасних Новоушицького, Віньковецького, Дунаєвецького, частина Мурованокуриловецького, Кам'янець-Подільського і Ярмолинецького районів. За переписом населення 1897 року в повіті нараховувалось 223312 чоловік.