1797 року Словенський повіт повернутий до Слобідсько-Української (з 1835 року — Харківської) губернії та став заштатним містом Слов'янської волості Ізюмського повіту. На початку ХІХ століття у Слов'янську почали виникати промислові підприємства (переважно харчової промисловості). Неухильно зростала чисельність населення (у 1773 — 3,9 тис. осіб, у 1837 — 5,9 тис., у 1897 — 15,7 тис. осіб).