Для отримання високого вакууму використовують дифузійні насоси. Принцип дії насосів цього типу ґрунтується на тому, що молекули газу не дифундують проти течії. Тому дифузійні насоси використовують струмінь для витягування молекул газу з вакуумної камери. Тиски, що забезпечуються дифузійними насосами становлять 2·10−6…3·10−7 мм рт. ст.