Уже в 1874 році Г. Мак-Леодом було розроблено компресійний манометр, який суттєво розширював нижню межу вимірювання тиску рідинними манометрами. Далі у 1909 р. М. Пірані створює тепловий, а у 1916 р. О. Баклі іонізаційний манометри. Вакуум і тиск газу