Вона є метастабільною і за певних умов може трансформуватися в інші форми. Метастабільна O-форма (орторомбічна) утворюється при нагріванні гексагональної протягом 2 годин при температурі 400°C, а стабільна полімерна O'-форма — протягом 24 годин при температурі 450 °C. Отримання Оксид фосфору синтезується шляхом спалювання чистого фосфору у контрольованому надлишку сухого повітря: ; ΔH = -2996,4 кДж/моль