Його виникнення пов'язане з проведенням в кінці XV століття імперської реформи, в ході якої на зміну середньовічному придворному суду, що пересувався слідом за імператором Німеччиною і володіннями Габсбургів, прийшов класовий Імперський камеральний суд, що мав постійну резиденцію в імперії. Рішення про утворення суду було прийняте Вормським рейхстагом 1495 р., з 1527 р. його штаб-квартира знаходилася в Шпейєрі, а з 1689 р. — у Вецларі. Голову суду призначав імператор, проте переважна більшість членів суду делегувалися імперськими класами (курфюрстами і імперськими округами), що забезпечувало певну незалежність від імператора. З 1555 р. в сенаті суду одна половина суддів була католиками, інша половина — лютеранами.