Пізніше виникли споріднені слова: деїст — у 1621 році, теїст — у 1662 році, теїзм — у 1678 році (за іншими джерелами — у 1743 році) та деїзм — у 1682 році. Значення слів «деїзм» та «теїзм» частково змінилися в районі 1700 року під впливом атеїзму. Слово «деїзм» спочатку мало теж значення, що й сучасне слово «теїзм», проте пізніше почало позначати окреме філософське вчення.