Систематичну методику елементного аналізу розробив Юстус фон Лібіх. У 19 ст. виникла також методика аналізу органічних речовин, основою якої були специфічні реакції функціональних груп. Першу методику інструментального аналізу розробили Роберт Бунзен та Густав Кірхгоф, які, вивчаючи спектри випромінювання полум'я, відкрили 1860 року Рубідій та Цезій.