У 1916 році американський фізик Петер Дебай і німецький Пауль Шеррер запропонували використання дифракції рентгенівських променів для дослідження структури полікристалічних матеріалів. У 1938 французький кристалограф Андре Гіньє розробив метод рентгенівського малокутового розсіяння для дослідження форми і розмірів неоднорідностей в речовині.