Please generate a JSON representation of the process gasses used for amorphous carbon deposition in PECVD, with the molecular formula as the key, the gas name included in the description, and a "dep rate" key indicating the most likely effect on the carbon deposition rate after increasing the proportion of the gas in a process (with values of "increase", "decrease", or "inconsequential"). Also include a number 1-10 indicating the strength of the belief in the effect described. The header should be "amorphous carbon PECVD".
โปรดสร้างการแสดง JSON ของก๊าซในกระบวนการที่ใช้สำหรับการสะสมคาร์บอนอสัณฐานใน PECVD โดยมีสูตรโมเลกุลเป็นคีย์ ชื่อก๊าซรวมอยู่ในคำอธิบาย และคีย์ "อัตรา dep" ที่ระบุถึงผลกระทบที่เป็นไปได้มากที่สุดต่ออัตราการสะสมคาร์บอน หลังจากเพิ่มสัดส่วนของก๊าซในกระบวนการ (ด้วยค่า "เพิ่มขึ้น" "ลดลง" หรือ "ไม่สำคัญ") รวมถึงตัวเลข 1-10 ที่แสดงถึงความเข้มแข็งของความเชื่อต่อผลที่อธิบายไว้ ส่วนหัวควรเป็น "คาร์บอนอสัณฐาน PECVD"
spam lang_mismatch pii not_appropriate hate_speech sexual_content quality toxicity humor creativity violence