無塵室特性
1. 無塵室特性
無塵室空調必須控制在22°C~24 °C之間，相對溼度則在45%~55%，空調系統24小時全天運轉並監控管理 
2. 無塵室室內壓力大小 
無塵室室內壓力必須比室外高些許(正壓)，除了為避免室外的溫、溼度、微粒影響無塵室生產區的環境條件外，並可延長無塵室濾網壽命，
3. 氣流分佈須均勻 
氣流主要功能為帶走無塵室內所產生的Particle以維持潔淨度，故除了氣流速度外，氣流的流線也必須依不同的無塵室等級加以適當的控制
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無塵室空調必須控制在22°C~24 °C之間，相對溼度則在45%~55%，空調系統24小時全天運轉並監控管理 
2. 無塵室室內壓力大小 
無塵室室內壓力必須比室外高些許(正壓)，除了為避免室外的溫、溼度、微粒影響無塵室生產區的環境條件外，並可延長無塵室濾網壽命，
3. 氣流分佈須均勻 
氣流主要功能為帶走無塵室內所產生的Particle以維持潔淨度，故除了氣流速度外，氣流的流線也必須依不同的無塵室等級加以適當的控制 