text: Технологический процесс в электронной промышленности Микротехнология Химическое осаждение из газовой фазы Вакуумное напыление Газофазная эпитаксия Осаждение атомных слоев В. Б. Алесковский, Журнал Прикладной Химии, 47, 2145 (1974); R.L. Puurunen, J. Appl.