text: Hitachi — Япония JEOL — Япония (Japan Electron Optics Laboratory) Tescan — Чехия KYKY — Китай Сoxem.- Корея Дифракция отраженных электронов Просвечивающий электронный микроскоп Сфокусированный ионный пучок Электронный микроскоп Рентгеноспектральный анализ Сканирующий гелиевый ионный микроскоп H. Busch.