text: Отличаются они друг от друга тем, что резерфордовское обратное рассеяние обеспечивает большую глубину проникновения, но меньшую разрешающую способность, в то время как спектроскопия ионов средних энергий — меньшую глубину зондирования, но лучшую разрешающую способность.