text: В соответствии с классификацией методов нанесения тонкопленочных покрытий ФПУ относится к классу химического осаждения покрытий из газовой (паровой) фазы (англ. chemical vapor deposition – CVD) стимулированного плазмой (англ. plasma enhanced CVD – PECVD) или ассистированного плазмой (англ. plasma assisted CVD – PACVD).