text: Разработаны основы технологии ионно-лучевого синтеза слоев твердых растворов на основе одно- и многокомпонентных систем материалов твердотельной электроники: кремния, карбида кремния (SiC), и тройных соединений на основе арсенида галлия (AlxGa1-xAs, GaAs1-xPx).