ラボ.com」はウェハ製造・検査工程のプロセス自動化を行う装置メーカーです。LED光にてウェハ端面の検出を行い、校正用ウェハ(基準ウェハ)との比較によりウェハ直径を測定する装置です。SiC特徴1測定ステージを手動操作し、A直径(3ポイント)及びB直径(オリフラ部分)を含む、10°刻み18点~36点を測定します。特徴2従来、ノギス等で測定するため発生していた、作業者による測定のばらつきを抑えることができます。~課題~作業者により測定のばらつきが発生。カタログお問い合わせ。