新型コロナウイルス感染拡大防止対策(COVID-19)直近14日間、平熱であり、風邪症状がないユーザーのみ予約を許可します。装置を利用するイエローエリアは、なるべく1名のみでお願いします。スピーンコーターがあるイエローエリアは、2名までとします。研究室内でオペトレを行う場合は、1対1でお互いの距離を2m(最低でも1m)空けてください。ご理解いただきますようお願い申し上げます。基板サイズが5mm□以下でスピンコーターを使用しないでください。故障の原因になります。Specification・Featuresデジタルミラー素子(DMD)を用いることでパターン投影し、クロムマスクブランクスやレジスト塗布基板に最小1um(LSは不可)の回路パターンを超高速で作成できます。利用相談はこちらより必要事項をご記入の上、お問い合わせください。