こちらは、ウェハ検査・測定装置ラボ.comで提案しているウェハ厚さ測定機(TME-18型)です。ラボ.com」はウェハ製造・検査工程のプロセス自動化を行う装置メーカーです。概要ウェハの厚さ測定する装置で、厚さ測定は、レシピによる多点測定を行います。Si(シリコン)、SiC特徴1他社同等機能を持ちながら安価に提供が可能です。~課題~一工程に一人必要となっており、人の問題でコストアップを招いていた。カタログお問い合わせ。