»ミニマルファブが描く新たな半導体ビジネス半導体製造分野に新たな息吹を吹き込むものとして、ミニマルファブに関心が集まっている。(メガファブ)と対極を行く。ループ長の原史朗氏だ。明するために局所クリーン化の基礎研究を続けていたところから生まれたもの」という。年に「ファブシステム研究会」を立ち上げ、参集した半導体製造メーカや大学などの有識者によって半導体製造システムが抱える問題を抽出し、検討を行なった。本格的にミニマルファブの研究・開発が開始されたのは2010年からで、設立した「産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会」のもとで進められている。年に前工程の要となるリソグラフィプロセス装置を開発。