振動する単結晶シリコン微細構造に負荷される瞬間ごとの応力の実験的な評価を目指しています。本研究は、単結晶シリコンを主な構成材料とするMEMS構造の機械的な信頼性評価・保証に役立つことが期待されます。応力評価には、顕微ラマン分光法を用います。単分子トランジスタなどのナノデバイスの実現に向け、数nmの間隔を持つ対向電極(ナノギャップ電極)を効率的に作製する手法が求められている。統計評価可能な測定数実現をめざし、カーボンナノチューブ(CNT)引張試験法を開発しています。CNTは極めて微小なため欠陥がその強度に大きく影響し、測定結果がばらつくことが予想されます。2011年5月21日ポリマー製マイクロ流体デバイスの高機能化のための付加構造として,ポリマー架橋度を制御することでエポキシ系ネガレジストが発現するフィルタ機能に関する研究を行っています。