川口液化ケミカル株式会社へのお問い合わせはこちらまで。2007年08月03日リークを検査したいのですが?そのようなご質問を頂戴することがあります。基本的なことですが、真空容器なのか加圧容器なのかによって対応が異なります。真空容器の場合でもそのリークの大きさにより検出用法も異なります。あたりでもたもたしているとリークの可能性が大きいです。そのような場合、真空チャンバーを排気しているメインバルブを閉じて、チャンバー内の真空の値がどのような挙動を示すか観察すると判断できます。以下の圧力ですと四重極質量分析計を利用してリークの有無を判定できます。残留ガススペクトルで空気成分のN+(14,28)O2+(32)が多いときはリークの可能性が大きいです。通常の残留ガスですが、異常に多い場合にはN+である可能性が高いです。排気システムのリークがなく、また正常なスペクトルを良く知らないと何がおかしいのか判断が付きません。酸素や窒素に注目して判断する以外にもアルゴンガスの挙動もひとつの目安です。リークでは、酸素窒素のスペクトルが見られなくてもリークがある可能性があります。このためにも、りーくのない場合の残留ガススペクトルを知っておくことは大切です。ヘリウムリークディテクターに関するご質問ご検討など川口液化ケミカル株式会社にお気軽にご相談ください。048-282-3665ありがとうございます。渋滞が激しい一日でしたね。時間を気にした仕事をしている人には難しい状況でした。川口液化ケミカル株式会社へご相談・ご質問ございましたら、ご連絡をお願い致します。