ラボ.com」はウェハ製造・検査工程のプロセス自動化を行う装置メーカーです。概要Si段差加工されたMEMS用Siウェハの厚さ及び、Si段差部の各種測定を非接触、自動にて行う装置です。Si(シリコン),MEMS特徴1前機種TME-06型より、操作性と機構等改善を行いました。機構はシンプル化を行い、操作性はオペレータの利便性を優先項目として改善を行いました。特徴2ご要望により、3種類のセンサを設けて多種多様な測定が可能になりました。特徴3SECS通信、HSMS通信によるHOST通信に対応しています。(別途ご相談頂ければ、他通信に対応致します。~課題~作業者により測定のばらつきが発生。カタログお問い合わせ。