Analyzer(MPA)です。このMPAの開発により大型の質量分析装置と同等以上の性能を有しながら世界最小クラスの残留ガス分析装置が実現しました。本分析部はプラグイン方式のユニットタイプであり、あらかじめ分圧校正されたセンサユニットを装着するだけで全圧および分圧の絶対値を計測できます。残留ガスは高温のフィラメントから放出された熱電子と衝突しイオン化され、生成したイオンは加速・収束されて質量分析部に導かれます。質量分析部では4本の円柱形電極(四重極)に直流及び交流電圧を印加することにより、イオンの質量がふるい分けられます。分離されたイオンはファラデーカップで電流として検出され、このイオン電流が残留ガスの量(分圧)に比例します。項目は必ずご記入ください。