エキシマUV-LED大気圧プラズマスポットキュア光配向お問い合わせJPENエキシマ照射装置高エネルギーのエキシマ光により、短時間でダメージレスな洗浄・改質を実現エキシマ(VUV)光により、ガラス、基板からフィルム、シートなどの表面を化学的に洗浄、改質することができます。水銀不使用のランプのため環境へも優しい工法です。実験、テスト用設備から最先端の生産設備まで幅広くサポートいたします。親水化、またオゾンによる酸化などの処理が可能です。対象物としてはプラスチック樹脂、基板、ガラスをはじめ、フィルム、シート等への実績がございます。2.高い光エネルギーにより高精度、短時間での有機物除去が可能エキシマ(VUV)光により、高濃度の活性酸素種や各種ラジカルを短時間で生成することができます。同時に基材上の有機物の化学結合を切断し有機物の酸化分解、揮発を促すことで、基材へのダメージを最小限に洗浄・改質をすることができます。バリア放電励起方式のランプのため発光時のランプ温度が低いです。172nmの単一波長のため、温度上昇に寄与する長波長も少なく基材への熱の影響を最小限に抑えることができます。誘電体バリア放電励起方式のランプのため、処理が必要なタイミングで点灯することができます。環境負荷の低減、お客様のランニングコスト削減へ貢献します。実験・テスト用の製品から、少量生産向け、製造ライン上に設置可能な製品、フィルム向け装置など、さまざまな生産設備へ対応した製品を取り揃えております。エキシマ(VUV)ランプ、装置の技術開発に取り組んでまいりました。累計販売台数6,000台(※2022年現在)の確かな技術をご提案、ご提供いたします。遮光/保護メガネの着用は必要ですかはい、遮光/保護メガネの着用を推奨します。172nmの光は大気中で急激に減衰しますが、長波長側の光も172nm強度の1/100程度出ています。遮光/保護メガネをご使用頂くことをお勧め致します。N2のユーティリティは必須ですか必須のモデル、あると効率が良くなるモデル、不要のモデルがあります。弊社より最適な製品の提案をさせて頂きます。オゾン排気はどのように行ったらよいでしょうかドラフターの中でご使用頂く、処理空間をダクトで局所排気する、などが一般的な手法です。ランプハウス/処理空間のパージガスも同様に排気が必要となります。安全に関わる仕様のため、詳細は設置に関わる注意事項をご確認いただき弊社営業担当へご相談下さい。播磨事業所にお越しいただいてのテスト照射実験、お預かり実験を承っております。照射後のSEM、XPS、FT-IR分析もご相談に応じて可能です。お貸出し可能なデモ機もございますので、お気軽にお問い合わせください。大気雰囲気中でも洗浄効果は得られますか大気中でも洗浄効果を得ることは可能です。ランプから照射物までの距離を取りすぎると、光が到達せずに効果が落ちてしまいます。照射実験の際などは、照射距離の設定にご注意ください(推奨:2~4mm程度)雰囲気を制御することで、照射距離を伸ばす/立体物への照射も可能です。最適な雰囲気、照射距離はどれくらいですか?大気雰囲気の場合は2~4mm程度を推奨します。最適なパラメータを見つけることが必要です。ご参考までにガラス基板の接触角変化についてのパラメータを掲載します。Reserved.本ウェブサイトはCookieを使用しています。以下の「同意する」をクリックされることにより、お客様は弊社のCookieポリシーに記載されたCookieの使用に同意したことになります。Cookieの使用に同意されないお客様は、お手数ですが、以下の「同意しない」をクリックし、移動先のCookieポリシーに記載の方法に従ってCookieに関する設定を変更ください。