overview:本研究開発ではエラストマに埋め込まれたMEMSカンチレバー触覚センサを用いて人間の触覚のように対象物に対しアクティブタッチを行うことで、物体の表面テクスチャ情報を計測する方法の開発を行なった。エラストマの形状が触覚センサ感度に与える影響を有限要素法で解析し、半球状の形状が水平方向の力の検出に有利であることがわかった。次に、解析結果を元に実際に触覚センサ素子を作製し、紙幣表面の凹凸をスキャンしマッピングすることを可能とした。粗さ標準片を計測することで、凹凸の計測限界が25μmであることを示し、さらにそれ以下でも出力変化から求めた静止摩擦係数の違いとして検出可能とした。実際に5種類の紙を触覚センサで計測することでそれぞれの表面テクスチャの違いを識別することができた。ReservedTOPBOTTOM。