はじめに最先端半導体製造に用いられる材料ガスやプロセスガスの水分コンタミは、歩留まりやスループットに直接影響を及ぼす。天然ガスのパイラインシステムの品質管理には、天然ガス混合物中の微量水分の測定が重要である。これらでは高速な応答と高い信頼性に加え、さまざまな種類のガス中における水分の監視が要求される。あるが、前者は主に高純度単一ガス中の微量水分の検出に用いられてきおり、後者は長期安定性と再現性に優れ、分解能も高いものが多いが、微量ガスに対する応答時間が長いためオンライン計測には不向きである。mini)1-4)を開発した。MHzの同時励振を可能にしたボールSAW素子に、ゾルゲル反応によって合成したSiOx溶液を塗布した1)。L/min供給することができる。