極(端)紫外光源とは、極(端)紫外光を放射する光源のこと。plasma)の発光方式がある。LPP方式は、YAGレーザやCO2レーザを原料に照射し、プラズマを発生させてEUV光を取り出す。DPP方式は、電極間の放電によりプラズマを発生させて、EUV光を取り出す。原料は主にSnが使われる。※半導体の微細化に伴い、水銀ランプのg線(436nm)、i線(365nm)から、エキシマレーザのKrF(248nm)、ArF(193nm)と短波長化が進み、ハーフピッチ65nm台の実現をみた。45nm台の本格的な量産を目前に、使用波長からくる限界から、液浸露光技術が導入されるなど、これまでに比べて露光プロセス技術が複雑になりつつある。この限界を破り、更にハーフピッチ30~10nm台の実現を目指し、EUV光源(13.5nm)の開発が進められている。Reserved.本ウェブサイトはCookieを使用しています。以下の「同意する」をクリックされることにより、お客様は弊社のCookieポリシーに記載されたCookieの使用に同意したことになります。Cookieの使用に同意されないお客様は、お手数ですが、以下の「同意しない」をクリックし、移動先のCookieポリシーに記載の方法に従ってCookieに関する設定を変更ください。