微量水分の測定結果を図2に示す。3時間ごとに徐々に水分濃度が上昇し、減少している。ppbv以上での応答は明瞭であるが、温度ドリフトにより乱れていることがわかる。SAWセンサの応答は温度依存性があるため、温度効果の補償が課題となる。そこで2つの周波数でセンサ温度を補償するモデルについて紹介する。2における音速の温度係数である。(2)より、圧電結晶の温度係数による温度依存性を補償した、濃度による遅延時間変化は濃度によらず温度のみによる遅延時間変化はとなる。ここで、C=A1/A2である。(b)は上記のモデルを適応した微量水分応答の遅延時間差分出力である。ppbvでも応答は明瞭であった7,8)。用いて測定した応答である。ボールSAW微量水分計は全水分濃度域においてとCRDSと同様の応答を示した。ボールSAWセンサの前に接続した場合のCRDSの応答時間はこのケースと同様であったため、CRDSの応答時間はボールSAWセンサに制限されないと考えられる。CRDS遅延時間変化と濃度の関係を図3に示す2)。図中、白丸はSiOx感応膜を有するボールSAWセンサの4回繰り返しの結果である。図中、三角は微量水分応答の発見に至った水晶表面にダメージを設けたセンサの結果である。実線と点線は、それぞれ実験結果と実効値ノイズの3倍値に最小二乗フィッティングして外挿した線を示す。nmol/mol(ppbv)となった。オーダーであり、これらの結果から、ボールSAWセンサの感度は、CRDSと同程度にできることが示された。ppbvレベルまで平方根関数にフィットすることが示された。この平方根依存性は、水分子とシリカ格子の反応モデルを検証するための鍵になる4)。