EPMA(電子線マイクロアナライザー装置)電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)は、物質表面に電子線を照射して、そこから発生する特性X線を計測し、試料を構成する元素とその量を測定することができます。分析であり、試料全体の定量分析ではないことに注意が必要です。標準試料を用いることによって、定量の精度が向上します。検出したX線の波長からどのような元素が含まれているかわかり、未知物質の組成推定に用いることができます。程度で、0.001質量%(重元素の場合)で、微量成分の分析には向きません。相分離構造観察などに活用されます。デバイス断面を観察することで、各層を構成する元素組成がわかります。デバイス構成によっては層膜厚が分解能以下であるため、各層の組成ずれや層間の元素拡散の度合いが定性的にわかります。製品の不良解析や原因推定の際に有効な手段です。不良があった半導体製品の表面に意図せず付着しているドロップレットの構造、組成が分かると、原因特定に役立ちます。※組織により上記実験ができない場合がございます。(産学連携先)ナノエレクトロニクス、ナノマテリアル合成、微細加工、デバイス作製や、最先端機器を利用した計測を行うことができます。スーパークリーンルーム、バイオ系実験用クリーンルームを完備し、最先端機器であるTEMやEB描画装置等の装置を多数完備し、合成からバイオ実験までを一気通貫で行うことができます。おすすめ電子顕微鏡は、光の代わりに電子(電子線)をあてて拡大する顕微鏡のことです。薄い試料を用いますが、数十万倍にも拡大した像を得ることができます。原子の周期的な配列に対応した回折現象を利用して、電子回折像が得られます。これは、物質(試料)の性質、特に結晶構造や格子欠陥に関わる重要な情報です。X線分析装置(XRF)X線を試料に照射した時に発生する蛍光X線のエネルギーや強度から、物質の成分元素や構成比率を分析できる装置です。求めることができます。基板の電極部分を測定し元素マッピングすることによって金属の分布を知ることができます。廃液を液体のまま測定することによって、液中に含まれる成分や量などを分析することができます。※組織により上記実験ができない場合がございます。(TEM)観察対象に電子線をあて、透過した電子線の強弱から観察対象内の電子透過率の空間分布を観察する装置です。〇生体組織や無機マテリアルの微細構造評価TEMの非常に高い倍率,分解能という特性から,原子レベルでの観察がおこなえます。そのため,光学顕微鏡では観察が困難な,似て非なる構造も捉えることができます。目的の探索物質に反応する抗体で標識することで,微細構造上でタンパク質などの探索物質の局在を観察することができます。抗体反応を色で観察することはできないため,金コロイドなどで標識する必要があります。試料に電子線を当てたときの回析パターンから,結晶構造を推測,決定することができます。※組織により上記実験ができない場合がございます。(後方散乱電子、BSE)、透過電子、X線、カソードルミネッセンス(蛍光)、内部起電力等を検出する事で対象を観察出来る装置です。露光、現像後の半導体のパターンを観察することができます。〇複合材料(樹脂)の断面の観察フィラーや強化繊維などを樹脂に分散させた際に、断面観察により分散状態を観察することができます。〇電極断面の観察LEDの金属電極断面について、低加速電圧で反射電子像を観察することにより、金属薄膜の結晶の状態を観察することができます。金属材料が破損した際に、原因を分析する1つの手段として、破断面の状態を観察し、原因を分析することができます。※組織により上記実験ができない場合がございます。EDX(SEM-EDX)SEM(走査型電子顕微鏡)にEDX(エネルギー分散型X線分析装置)を装備しており、観察領域における組成分析・元素マッピングができます。劣化して破損してしまった部品を表面分析することにより、本来部品に含まれていない成分などの有無を調べ、外的要因がないかどうかを判断することができます。変色してしまった金属製品を測定しマッピング分析をすることにより、変色箇所に含まれる成分を特定することができます。未知の無機物質を測定し、標準試料のデータと照らし合わせることで無機物質の大まかな材料判定をすることができます。電子基板上に発生した微小異物の元素分析をすることにより、有機物か無機物かを判別することができます。※組織により上記実験ができない場合がございます。