校正対象品は、標準リーク又はキャピラリー式流量計で、コンダクタンスリークとなる。Goals)が大きく取り上げられています。漏れは古くから身近にある不具合であるが、現在でも品質の重要な要件の一つである。漏れとは“壁の両側の圧力差又は濃度差によって液体又は気体が通過する現象。筐体が密封された製品は、内容物を外気から保護できるため、様々な業種の重要な製品・部品で使用されている。測定をするという行為には、その結果に対する信頼性が必要である。図3(a)のボールSAWセンサの原理を示す。次にボールSAW水素センサの微量水素応答の立ち上がり時間と立下り時間を評価した。