カーボンニュートラル、エネルギーここがポイント!【研究内容】プラズマCVM:局所プラズマを数値制御走査することで、任意形状をナノメータの精度で創成できる超精密加工法を開発。プラズマ援用研磨:プラズマを照射して表面を改質し、軟質工具を用いて改質層を除去する新しい研磨法を開発。ワイドギャップ半導体(SiC,GaN,ダイヤモンド)や機能性セラミックス材料を高能率かつダメージフリーに研磨可能。スラリーレス電気化学機械研磨:導電性材料の表面を陽極酸化し、軟質固定砥粒を用いてダメージフリーに除去するスラリーを用いない低環境負荷の研磨法を開発。University。