由紀(内1441)注意事項ターゲットの汚染により、均一にコーティングできない可能性があります。試料をコーティングする前に、白い紙を用いてコーティングできているか確認してください。チャンバー内の洗浄はアセトン、もしくはエタノールを含ませたキムワイプで行ってください。試料ステージなどは金属磨き(ピカール)等を使用してください。ターゲットは洗浄しないでください。Au-Pdコートした試料はEDX等の元素分析には適しておりません。