特徴ガリウム線と電子線を操る複合ビーム加工観察装置です。nAの高電流密度Gaイオンビームを採用し、高速加工が可能です。nm)を実現、大電流でも高い空間分解能を維持しています。大口径EDS(エネルギー分散型X線分析装置)を導入しており、高速組成分析を行うことができます。ナノマニピュレーター(OmniProbe350)が付属しています。SEMおよびFIBで観察しながらリフトアウト作業が行えるため、試料室内でTEM試料などの作製を完結させることができます。大気非暴露トランスファーシステムを搭載しており、試料を大気に晒すことなく加工/取り出し/持ち運びが可能です。Analyticsを利用しています。Analyticsは、クッキーを利用して利用者の情報を収集します。University.。