Japanese本発明は、相対的に移動する被塗工材の塗工面に対し液状の材料液を供給することにより移動方向に沿って被塗工材に材料液を塗工する薄膜形成装置の塗工ヘッダ、およびそれを備えた薄膜形成装置と反転印刷装置に関する。広く普及するようになり、この液晶表示装置のガラス板やそのガラス基板に貼られる保護板等の基材に材料液を塗工して、極薄い薄膜を形成する必要が出てきた。そのような場合に用いられる薄膜形成装置の一般的な例の概要構成図を図12に示し説明する。FIG.図12において、100は薄膜形成装置であり、塗工ヘッダ101と、塗工ヘッダ101に材料液(塗工液)aを供給する図示しない材料液供給装置と、塗工ヘッダ移動装置102と、各種基板等の基材(被薄膜形成材)110とが所定位置にセットされる台枠103を有している。その上方に位置して、塗工ヘッダ101から供給された材料液aを基材110に転写する薄膜塗工ローラ(被塗工材であるシリンダ状部材)104と、薄膜塗工ローラ104を移動するための図示しないローラ移動装置と、薄膜塗工ローラ104を回転するための図示しないローラ回転駆動装置とを備えて構成されている。104.薄膜形成装置100における塗工工程を図12により説明すると、図12(a)に示すように、薄膜塗工ローラ104を、先ずローラ移動装置により塗工ヘッダ101の上方に移動させる。このとき、薄膜塗工ローラ104は回転停止状態とされ、塗工ヘッダ101は薄膜塗工ローラ104と接触しない下降位置とされている。104.次いで、(b)に示すように、塗工ヘッダ移動装置102を作動させて塗工ヘッダ101を薄膜塗工ローラ104と接触する上昇位置にとするとともに、ローラ回転駆動装置を作動させて薄膜塗工ローラ104を回転させる。これにより、薄膜塗工ローラ104の周面104aに材料液aが塗工される。104.薄膜塗工ローラ104の周面104aの全周に亘って材料液が塗工されると、塗工ヘッダ移動装置102の作動により、(c)に示すように、塗工ヘッダ101が薄膜塗工ローラ104と接触しない下降位置とされ、また、ローラ回転駆動装置を停止して薄膜塗工ローラ104の回転を停止させ、薄膜塗工ローラ104の塗工工程が完了する。completed.そして、ローラ移動装置の作動により薄膜塗工ローラ104を基材110へと移動させるとともにローラ回転駆動装置を作動させて薄膜塗工ローラ104を回転させる。薄膜塗工ローラ104の高さ位置は、その最下の周面位置が基材110の上面と一致するように設定されており、(d)に示すように、薄膜塗工ローラ104を基材110上で移動させることにより、薄膜塗工ローラ104の周面104a上の材料液が基材110上に転写されることになる。110.上記のような薄膜塗工装置100に用いられ、ガラス基板等の基材(被薄膜形成材)110に極薄い薄膜を形成するための塗工ヘッダとしては、従来、(1)表面張力利用型や、(2)毛細菅現象利用型(例えば、特開2001−62370公報:特許文献1)が提案されている。図13は従来の表面張力利用型の塗工ヘッダを用いた薄膜形成装置の一例の構成及び作動を説明するための模式的な要部側断面図である。header.この薄膜形成装置200では、図13(a)に示すように、薄膜を形成する材料液(塗工液)aをポンプPにより液供給管202を介して塗工ヘッダとしての円柱体201の空洞(内部)201aへ供給する。この円柱体201の上部には、20μm程度の径の孔が多数形成されたポーラス部(塗工部)203が、周方向に10mm程度の幅をもって形成されており、このポーラス部203においては、円柱体201の外周面と内周面とが連通した状態となっている。したがって、ポンプPにより上記の内部201aへと供給された材料液aは、ポーラス部203において外周面へ供給されるようになるが、この外周面へ供給された材料液aの内、過剰に供給された材料液aは、円柱体201の姿勢がポーラス部203を鉛直上方に向けた姿勢に設定されているため、ポーラス部203を出た後、下方に落下するようになる。203.この結果、ポーラス部203にはその外周面に一定高さ(例えば400μm程度)の材料液aの隆起が得られるようになる。図13(b)に示すように、基材(被薄膜形成材)210を、ポーラス部203における材料液aの隆起に接触させつつ移動させることで、基材210に材料液aの液溜まり(液ビード:液膜)204が形成される。formed.なお、円柱体201の外周面から落下した材料液aは、円柱体201の下方に配置された液タンク205により回収され、液回収管206を介してポンプPに吸引され、再び円柱体201へと供給されることとなる。図14は従来の毛細管現象利用型の塗工ヘッダを用いた薄膜形成装置の一例の構成及び作動を説明するための模式的な要部側断面図である。FIG.この薄膜形成装置300では、非塗工作業時には、塗工ヘッダ301を材料液層302に沈めておき、塗工作業時には、塗工ヘッダ301の先端を、上記材料液層302から基材(被薄膜形成材)310に向けて突出させるようになっている。塗工ヘッダ301には基材310の移動方向に対し略直角方向に配向して開口するスリット303が形成されており、上記材料液層302を形成する材料液aが、毛細現象によりこのスリット303内を伝って塗工ヘッダ301の先端で隆起して液ビード(液溜まり)304を形成する。この液ビード304は材料液aの表面張力によりその隆起高さひいてはその量がほぼ一定に保たれる。a.そして、塗工ヘッダ301の先端に液溜まり304が形成された状態で、塗工ヘッダ301に対し所定の隙間(ギャップ)をあけつつ且つ基材310を液溜まり304に接触させて基材310を移動させることで、基材310に材料液aが塗工される。310.このような塗工作業時は、基材310に塗工される分、液溜まり304が減少することとなるが、この減少した分だけ材料液aが、毛細管現象により自然と一定に液溜まり304に供給されるしくみとなっている。to.塗工作業は、図14において(a)〜(f)の順に行われ、先ず、塗工開始前においては、(a)に示すように、塗工ヘッダ301は液タンク305内に沈められており、この液タンク305の上部は蓋306に蓋われている。306.次いで、(b)に示すように、蓋306がスライドして液タンク305が開放され、塗工ヘッダ301が液タンク305から基材310側へ突出した状態とされる。この時、液タンク305内の材料液aが、毛細管現象により、塗工ヘッダ301に形成されたスリット303を上昇して塗工ヘッダ301の先端で隆起して液溜まり304を形成する。304.そして、このような塗工ヘッダ301の状態において、(c)、(d)、(e)に示すように、基材310を塗工ヘッダ301の先端の液溜まり304に接触させながら、基材301のセットされるステージ307と一体に図中左側へとスライドさせて行き、この過程で、基材310に塗工薄膜308が次第に形成されていく。(f)に示すように、基材310が液溜まり304を通過して塗工が完了すると、塗工ヘッダ301は液タンク305内の材料液層302に沈められた後、蓋306がスライドして液タンク305を蓋い、塗工作業が完了する。completed.しかしながら、上述した2つのタイプの従来の薄膜形成装置用の塗工ヘッダには依然以下のような問題があった。図15は上述した図13に示すような従来の表面張力利用型の塗工ヘッダとしての円柱体201の問題の説明図であって、(a)は基材210と円柱体201のポーラス部(塗工部)203との最接近部(以下、ニップ部という)の模式的な側面視による断面図であり、(b)は(a)の模式的なA−A矢視断面図である。drawing.図15(a)中の破線207は、基材210とポーラス部203とのニップ部周辺で材料液膜208、209が受ける圧力の圧力分布線を示し、図15(a)中で上にあるほど高い圧力を示している。基材210とポーラス部203との隙間が狭いほど材料液aが受ける圧力は高くなることから、ニップ部において材料液aが絞られる(これを液絞りという)ため材料液aの圧力は急上昇する一方、ニップ部下流側では基材210とポーラス部203との隙間が急に広がるため、材料液の圧力は負圧となる(圧力分布線207における符号207aで示す部分を参照)。207).この負圧の発生のため、ニップ部下流側で液膜分裂の際、すなわちポーラス部の材料液膜208の一部が基材210へ材料液膜209として移動する際、上記負圧の作用により材料液膜208、209のメニスカスが基材210とポーラス部203との隙間に引き込まれるような現象が発生し、図15(b)に示すように、材料液膜208、209に規則的なリングパターンと呼ばれる円柱体201円周方向に延びる筋状のムラ(円柱体201軸方向に数mm程度のピッチで繰り返される液厚の凹凸)が発生しやすい。図15(b)中の符号211はリングパターンを形成し基材210に正常に塗工されない余剰液(余剰な材料液)である。リングパターンの凹凸のピッチや高さは、材料液aの表面張力や粘度及びニップ部下流側で発生する負圧207aの程度により異なったものとなる。portion.このようなリングパターンが発生すると、基材210が印刷版である場合には、この印刷版を使用して印刷された印刷物にリングパターンに応じた濃淡ムラが生じ、不良印刷物となる。その問題のほかに、表面張力利用型の塗工ヘッダの一般的傾向として、塗工速度はある程度高速化できるが、薄膜形成の精度を十分に上げられない、という問題もあった。increased.(2)毛細管現象利用型(キャピラリーコータ型)図16は上述した図14に示すような従来の毛細管現象利用型の塗工ヘッダ301の問題の説明図であって、(a)は基材310と塗工ヘッダ301との最接近部(以下、ニップ部という)の模式的な側面視による断面図であり、(b)は(a)の模式的なB−B矢視断面図である。FIG.毛細管現象利用型の塗工ヘッダ301も、上記の表面張力利用型の塗工ヘッダとしての円柱体201と同様の課題を有する。塗工ヘッダ301の基材310移動方向下流側では、それまで塗工ヘッダ301の上面により規定されていた空間が急激に広がるので、負圧部309が発生し、材料液aの液溜まり304の一部が基材310上の塗工薄膜308へと移動する液膜分裂の際、材料液aのメニスカスが塗工ヘッダ301側に引き込まれてしまう。この結果、(b)に示すような基材310移動方向に対して直角方向において数mmピッチで凹凸が繰り返されるリングパターンが発生しやすくなるのである。(b)中の符号311はリングパターンを形成し基材310に正常に塗工されない余剰液(余剰な材料液)である。310.また、この毛細管現象利用型の塗工ヘッダ301では、スリット303の幅(スリット開口幅)と塗工ヘッダ301の先端から基材310の表面までの距離との関係を制御できれば、均一な薄膜の形成(リングパターンの発生を抑制すること)は可能であるが、上記スリット開口幅を装置幅方向[図15(a)において紙面に垂直な方向]に亘って均一に加工するのが難しく、塗工ヘッダ301と基材310との距離に応じてスリット開口幅を適切に調整するのは現実的には難しいという問題があった。塗工ヘッダの一般的傾向として、薄膜形成の精度を上げることができ美麗な塗膜が得やすいが、塗工速度が低いという問題があり、材料液aの供給を単に毛細管現象によらずポンプ等圧送手段を用いることである程度速度向上ができるが薄膜精度との関係から限界がある。問題を有するものであった。6)以上のように、(1)表面張力利用型及び(2)毛細管現象利用型の何れの塗工ヘッダ201、301においても、塗工薄膜の厚みが塗工方向に対する幅方向において不均一になりやすく、リングパターンに応じた濃淡ムラが生じ、不良印刷物(損紙)となる問題があった。paper).なお、上記問題点の説明においても、被塗工材として平板状の基材(被薄膜形成材)210、310に塗工膜を形成する例を説明したが、リングパターンは被塗工材(基材または薄膜塗工ローラ等)がシリンダ状物の場合にも発生し、シリンダ状の基材(被薄膜形成材)に薄膜を塗工する場合であっても同様であり、また、図12で説明したと同様に、薄膜塗工ローラに一旦塗工した上で薄膜塗工ローラから基材(被薄膜形成材)210、310に転写する場合の、薄膜塗工ローラへの塗工の場合も同様のリングパターンが生じ、その結果、基材(被薄膜形成材)210、310上のリングパターンの問題を発生する。occurs.本発明はこのような問題を解決するためになされたものであり、被塗工材(基材または薄膜塗工ローラ等)に均一の厚みで、安定した材料液を塗工でき、塗工速度の向上を可能とする、薄膜形成装置用の材料液の塗工ヘッダと、それを用いた薄膜形成装置を提供することを課題とする。same.本発明は、上記の課題を解決するためになされ、下記の(1)から(8)の手段を提供するものであり、以下、特許請求の範囲に記載の順に説明する。claims.(1)その第1の手段として、液状の材料液を被塗工材の塗工面に塗布し、同塗工面に薄膜を形成する薄膜形成装置用の塗工ヘッダであって、前記材料液を前記被塗工材に供給する前記塗工ヘッダ先端のリップ部におけるリップ下流側面が同塗工ヘッダ中心線に対して0°ないし20°の範囲で前記塗工面側に傾斜して加工されてなることを特徴とする塗工ヘッダを提供する。provided.(2)第2の手段としては、第1の手段の塗工ヘッダにおいて、下方に向き水平方向に対して20°ないし65°の塗工面角度をつけた前記被塗工材の塗工面に、前記リップ部を上向きに近接配置されてなることを特徴とする塗工ヘッダを提供する。upward.(3)また、第3の手段として、第1の手段または第2の手段の塗工ヘッダにおいて、同塗工ヘッダはその中心方向を、前記リップ部が近接配置された箇所の前記塗工面に垂直に向け配置されてなることを特徴とする塗工ヘッダを提供する。vertically.(4)第4の手段として、第1の手段ないし第3の手段のいずれかの塗工ヘッダにおいて、前記液状の材料液が揮発性の材料液であることを特徴とする塗工ヘッダを提供する。do.(5)第5の手段として、第1の手段ないし第4の手段のいずれかの塗工ヘッダにおいて、前記被塗工材は平板状被塗工材であり、前記リップ部が近接配置される前記塗工面は同平板状被塗工材の下面であることを特徴とする塗工ヘッダを提供する。header.(6)第6の手段として、第1の手段ないし第4の手段のいずれかの塗工ヘッダにおいて、前記被塗工材はシリンダ状被塗工材であり、前記リップ部が近接配置される塗工面は同シリンダ状被塗工材の下側周面であることを特徴とする塗工ヘッダを提供する。header.(7)第7の手段として、第1の手段ないし第6の手段のいずれかの塗工ヘッダを備えてなることを特徴とする薄膜形成装置を提供する。means.(8)第8の手段として、第1の手段ないし第4の手段、または第6の手段のいずれかの塗工ヘッダを備えてなることを特徴とする反転印刷装置を提供する。means.(1)特許請求の範囲に記載の請求項1の発明によれば、リップ下流側面がシャープエッジまたはそれに近い形状のため、リップ上流側面への液拡張濡れが抑制され、材料液固着が発生しない条件となり、被塗工材に均一の厚みで、安定したビード形状で材料液を塗工でき、リングパターンの問題を回避し塗工速度向上が可能となる。speed.(2)請求項2の発明によれば、請求項1の発明の作用効果に加え、鉛直方向液引出し力が大きくなり液ビードが安定、塗工開始前の液だれが防止されて膜厚誤差の増大が防止されるので、さらに、材料液固着が発生しない条件となり、被塗工材に均一の厚みで、安定したビード形状で材料液aを塗工でき、リングパターンの問題を回避し塗工速度向上が可能となる。improved.(3)請求項3の発明によれば、通常の塗工面と垂直な配置方向に取付けた塗工ヘッダにおいて請求項1または請求項2の発明の作用効果をさらに奏することができる。surface.(4)請求項4の発明によれば、特に、材料液の固着が生じやすかった揮発性の材料液を塗工する場合において、請求項1ないし請求項3のいずれかの発明の作用効果を顕著に奏することができる。remarkably.(5)請求項5の発明によれば、請求項1ないし請求項4のいずれかの発明の作用効果を、平板状被塗工材の下面を塗工面として奏することができる。surface.(6)請求項6の発明によれば、請求項1ないし請求項4のいずれかの発明の作用効果を、シリンダ状被塗工材の下側周面を塗工面として奏することができる。可能な薄膜形成装置となる。speed.本発明を実施するための最良の形態として、以下に実施例1から実施例3を説明する。invention.本発明の実施例1に係る塗工ヘッダを図1に基づき説明する。図1(a)はシリンダ状被塗工材に対する本実施例の塗工ヘッダの配置図であり、(b)は本実施例の塗工ヘッダの拡大断面図である。図12を参照することとし、改めて図示することは省略する。本実施例において、薄膜形成装置100は図12に図示のものに限定されることなく、種々の態様のものであってよい。FIG.図1において、1は本実施例の塗工ヘッダであり、10は塗工ヘッダ1により材料液(塗工液)aの薄膜を塗工されるシリンダ状被塗工材である。材料液aは揮発性の材料液も含むものとする。シリンダ状被塗工材10は、例えば、各種基板等の基材(被薄膜形成材)であり、または、材料液aを基材に転写する薄膜塗工ローラ等であって、シリンダ状に形成され、その軸芯線O回りに図中矢印方向に回転しつつ、その周面10a(塗工面)に近接する塗工ヘッダ1によって塗工され、周面10a上に材料液aの液ビード4が形成される。formed.塗工ヘッダ1は、図14で説明したと同様に毛細管現象利用型の塗工ヘッダであり、その内部に設けられスリット13を有し、スリット13は塗工ヘッダ1の先端部(以下、「リップ部」という)1aに開口を有し、毛細管現象を利用して材料液aをシリンダ状被塗工材10の周面10aに供給する。毛細管現象による以上に塗工速度を増大させる必要のある場合は材料液aをポンプ等により加圧して供給することがある。θ”).本実施例において、塗工ヘッダ1のリップ部1a(以下、単に「塗工ヘッダ1」とも記載する)は、シリンダ状被塗工材10の下側の周面10aの真下の位置から鉛直方向Yに対してθ回った点の周面10aに位置しており、θは、θ1=25°からθ2=65°の範囲、θ=25〜65°に設定される。塗工面角度θ=25〜65°に設定される。°.なお、通常、塗工ヘッダ1は、塗工ヘッダ中心線Cを略シリンダ状被塗工材10の軸芯線Oに向けて、リップ部1aが近接配置された箇所の周面10a(塗工面)の方向、すなわち同箇所の接線方向と略垂直に配向されるから、塗工ヘッダ中心線Cの鉛直方向Yに対する角度もθ=25〜65°の範囲になる。°.塗工ヘッダ1の断面形状は図1(b)に示すように、シリンダ状被塗工材10の回転方向における上流側のリップ上流側面11と、下流側のリップ下流側面12の間に、塗工ヘッダ中心線Cに沿ってスリット13が形成されている。スリット13はリップ部1aにおいて、周面10aに面してシリンダ状被塗工材10の軸方向に延在する開口を有し、そこから周面10aへの材料液aの供給を行う。therefrom.スリット13の開口幅dは例えば0.5〜0.8mmであり、スリット13を挟むリップ上流側面11側とリップ下流側面12側の先端部材厚さはそれぞれ5mm程度である。リップ下流側面12は塗工ヘッダ中心線Cに対し、角度αの周面10a(塗工面)側に傾斜した面をなすように加工されており、α=0〜20°の範囲、さらに好ましくはα=5〜20°の範囲としてある。°.本発明の実施例2に係る塗工ヘッダを図2(a)に基づき説明する。図2(a)は平板状被塗工材に対する本実施例の塗工ヘッダの配置図である。本実施例の塗工ヘッダも、実施例1と同じく、図12に示すと同様の薄膜形成装置に用いられる塗工ヘッダ1であり、平板状被塗工材に対するものである以外は、塗工ヘッダ1の構造も薄膜形成装置全体も実施例1で記載したと同様であり、繰り返しの記載は省略する。omitted.図2(a)において、20は塗工ヘッダ1により材料液aの薄膜を塗工される平板状被塗工材である。材料液aは揮発性の材料液もである含むものとする。平板状被塗工材20は、例えば、各種基板等の平板状の基材(被薄膜形成材)であり、水平軸Xに沿って配置され、水平軸X方向に移動されつつ、その下面(塗工面)に略垂直上向きに近接する塗工ヘッダ1によって塗工され、面上に材料液aの液ビード4が形成される。従って、平板状被塗工材20の水平方向Xに対する塗工面角度θ=0°である。20.なお、通常、塗工ヘッダ1は、塗工ヘッダ中心線Cを平板状被塗工材20の下面(塗工面)に略垂直に配向されるから、塗工ヘッダ中心線Cの鉛直方向Yに対する角度もθ=0°になる。°.塗工ヘッダ1は、実施例1と同様のものであり、内部に設けられ毛細管現象を利用して材料液aを供給するスリット13を有し、塗工ヘッダ中心線Cを平板状被塗工材20に略垂直に向けてリップ部1aを近接させて設置されている。塗工ヘッダ1の断面形状は図1(b)に示すものと同じであり、リップ下流側面12は塗工ヘッダ中心線Cに対し塗工面側に傾斜する、角度αの傾斜面をなし、α=0〜20°、さらに好ましくはα=5〜20°としてある。°.本発明の実施例3に係る塗工ヘッダを図2(b)に基づき説明する。図2(b)は平板状被塗工材に対する本実施例の塗工ヘッダの配置図である。本実施例の塗工ヘッダも、実施例1、実施例2と同じく、図12に示すと同様の薄膜形成装置に用いられる塗工ヘッダであり、平板状被塗工材に対するものである以外は、塗工ヘッダの構造も薄膜形成装置全体も実施例1で説明したと同様であり、繰り返しの記載は省略する。本実施例が実施例2と異なるのは、平板状被塗工材20が水平方向Xに対して傾斜して配置されるものである点であり、それ以外は引例1と同様である。embodiment.図2(b)において、20は塗工ヘッダ1により材料液aの薄膜を塗工される平板状被塗工材である。平板状被塗工材20は、例えば、各種基板等の平板状の基材(被薄膜形成材)であり、水平軸Xに対してθ傾斜して設置され、その角度θの方向に移動しつつ、その下面(塗工面)に垂直向きに近接する塗工ヘッダ1によって塗工され、面上に材料液aの液ビード4が形成される。材料液aは揮発性の材料液もである含むものとする。したがって、平板状被塗工材20の塗工面角度はθである。θ.本実施例において、塗工面角度θは、θ=25〜65°の範囲になるように設置してある。通常、塗工ヘッダ1は、塗工ヘッダ中心線Cを平板状被塗工材20の下面(塗工面)と略垂直に配向されるから、塗工ヘッダ中心線Cの鉛直方向Yに対する角度もθ=25〜65°の範囲になる。°.塗工ヘッダ1は、実施例1と同様のものであり、内部に設けられ毛細管現象を利用して材料液aを供給するスリット13を有し、塗工ヘッダ中心線Cを平板状被塗工材20に略垂直に向けてリップ部1aを近接させて設置されている。塗工ヘッダ1の断面形状は図1(b)に示すものと同じであり、リップ下流側面12は塗工ヘッダ中心線Cに対し塗工面側に傾斜する、角度αの傾斜面をなし、α=0〜20°、さらに機械工作上、好ましくはα=5〜20°としてある。°.上記の各実施例に係る塗工ヘッダ1の形状と、配置の特徴についてまとめて以下説明する。below.(1)塗工ヘッダのリップ部形状(先端形状)について:本発明者の研究により、塗工ヘッダ1のリップ部1aの形状が、材料液(塗工液)aの塗工状態の安定化に影響することが判明し、研究・試験の結果、リップ部形状の最適化につき下記のことを見出した。shape.塗工ヘッダ1の中心線Cをシリンダ状被塗工材10の周面10aに対して略垂直に向けリップ部1aを近接させ、シリンダ状被塗工材10をその軸芯O回りに回転させつつ材料液aを周面10a上に塗工したもので、基本的な試験条件は次の通りである。図3は、リップ部1aのリップ下流側面12が周面10a(塗工面)側に傾斜し、塗工ヘッダ1中心線Cとなす角度(リップ下流側面角度)αを変えて塗工した試験結果の例であり、塗工状態図である。図3(a)に示すように、リップ下流側面12が塗工ヘッダ1中心線Cに対して0°で、リップ端面に対して直角でシャープエッジとなるため、リップ上流側面11への液拡張濡れが抑制される。リップ部1a下流側のビード位置が安定する。そのため安定した液ビード4が得られている。図3(b)に示すように、この場合もリップ下流側面12が塗工ヘッダ1中心線Cに対して12度と、シャープエッジに近い形状のため、リップ上流側面11への液拡張濡れが抑制されており、良好で安定した液ビードが得られている。図3(c)に示すように、リップ下流側面12を塗工ヘッダ1中心線Cに対し30度と大きく、リップ下流側面角度αが大きくなると、液がリップ下流側面12に材料液aが付着しやすくなる。この付着した材料液aは揮発性インキのため、すぐ硬化してリップ部1aに固着する。この固着した材料液aに、新たに塗工した材料液aが付着し、図示のようにリップ部1a下流側のビード位置5が乱れてくる。その結果として塗工された液ビード4は不均一で安定性のない液ビードとなる。beads.以上の試験結果をまとめたグラフを図4に示す。(液ビード安定性)、右縦軸は「(ロ)リップ先端形状加工性の難易度」を示す。リップ先端形状の機械加工性の難易度は、リップ部1aの先端は非常に小さく、また硬い材料を使用するが、実際の装置に利用するためには塗工方向に対し幅方向に精度良く、均一に加工する必要があり、実際にはこの加工が困難な事から考慮したものである。(液ビード安定性)は、リップ下流側面角度αが0°で、リップ下流側面12がシャープエッジ(直角)になるほど良いビードが得られが、リップ下流側面角度αが30°の場合は、材料液aの固着が発生し、適していない。リップ部1aの機械加工の難易度は、シャープエッジになるほど困難になり、リップ下流側面角度αが大きくなるほど容易になる。increases.そこで、実際に機械加工でき、また良好な液ビードが得られる適正領域としては、リップ下流側面角度α=0〜20度、機械加工上から、より望ましくはα=5〜20度の範囲である。その場合、塗工する材料液aが揮発性インキ液の場合でもインキ液がリップ先端に固着しないので、良好で安定した塗工が可能となる。最適化につき(また、塗工ヘッダ1は通常、塗工面に略垂直に配置されるから、塗工ヘッダ1の配置の最適化につき)、下記のことを見出した。found.図5に基づき、塗工ヘッダ1の最適配置を決定するための試験を説明する。ための試験におけるシリンダ状被塗工材10に対する塗工ヘッダの配置図であり、シリンダ状被塗工材10の周面10aに対して塗工ヘッダ1の中心線Cを垂直に向け、すなわちシリンダ状被塗工材10の軸芯Oに向けて、リップ部1aを近接させ、リンダ状被塗工材10を回転させつつ、材料液aを周面10a上に塗工したもので、基本的な試験条件は次の通りである。塗工ヘッダ1は、シリンダ状被塗工材10の真下の位置で上向き配置の場合、すなわち、シリンダ状被塗工材10の塗工面角度θ=0°、鉛直方向Yに対する塗工ヘッダ1の方向Cの角度θ=0°の位置から、シリンダ状被塗工材10の真横の位置で水平向き配置の場合、すなわち、塗工面角度θ=90°、周面10a上の塗工ヘッダ1の位置の鉛直方向Yに対する角度θ=90°の位置まで、塗工ヘッダ1の位置を変えて、シリンダ状被塗工材10に塗工される材料液aの液ビードの塗工状況を試験した。力f」という)が作用する。力F」という)との関係が、被塗工材に塗工される液ビードの安定性を左右すると着目したものである。bead.図5に示すように、F=f・sinθであるから、θ=0°でF=f・sin0°=0、θ=90°でF=f・sin90°=fとなり、塗工状況の試験結果の代表例を、下記のように図6〜図8に示す。図6(及び図5)に示すように、塗工ヘッダ1に相対する周面10aの接線方向の水平方向Xに対する角度が塗工面角度θであり、塗工ヘッダ1の周面10a上の位置の鉛直方向Yに対する角度もθ=0°である。あり、一方、重量Gは大きく作用し(F≪G)、しかも材料液供給速度が減少する方向に作用するので、シリンダ状被塗工材10に塗工された液ビード4は、幅方向にも、進行方向にも均一性がなく、図示のように凹凸状液ビード4aとなりやすい。図7(及び図5)に示すように、塗工ヘッダ1に相対する周面10aの接線方向の水平方向Xに対する角度が塗工面角度θであり、塗工ヘッダ1の周面10a上の位置の鉛直方向Yに対する角度はθである。重量Gとほぼ同等かやや大の力(F≧G)としやすいので、液だれも発生せず、均一なビードが塗布できる。図8(及び図5)に示すように、塗工ヘッダ1に相対する周面10aの接線方向の水平方向Xに対する角度が塗工面角度θ=75°であり、塗工ヘッダ1の周面10a上の位置の鉛直方向Yに対する角度もθ=75°である。この場合は、鉛直方向液引出し力F=fsin75°は、塗工面角度θ=20°〜65°の場合よりもさらに大きくなり、F>Gとなりやすいので、液ビード4の形成はさらに安定する。stabilized.すなわち、上記のように水平位置に近づき、塗工ヘッダ1の取り付け位置の塗工面角度θ、すなわち周面10a上の角度θが大きくなり90°に近づき、塗工面角度θが90°に近づくほど、鉛直方向液引出し力Fが大きくなり、液ビード4が安定する。stabilized.しかし、実際の運用においては、塗工面角度θが大きくなるにつれ、塗工ヘッダ1の中心線方向Cが鉛直方向Y上向きから水平方向Xへと傾くため、塗工開始前に液だれ4bが発生し、リップ部1a(塗工ヘッダ1の先端部)の裏側に回り込み、上流側のビード位置(液溜まり)が乱れる。そのため液ビード4も不均一な塗工状態となってくる。そのため、塗工面角度θが45°を越えると膜厚誤差が増大する。increases.ちなみに、塗工ヘッダ1をシリンダ状被塗工材10に対して下向きに配置すると、重量Gが大きく作用し、しかも材料液供給速度が増大する方向に作用するので、液だれが発生し易く、安定した塗工が困難となり、通常用いられない。シリンダ状被塗工材10の場合は、塗工ヘッダ1の位置の鉛直方向に対する周面10a上の角度であり、塗工ヘッダ中心線Cを塗工面方向(周面10a接線方向)に対して垂直に配置した場合は、鉛直方向Yに対する塗工ヘッダの角度〕、縦軸(ハ)は塗工した液ビードのビード液膜の安定性を示し、縦軸(ニ)は液ビードの膜厚誤差を示す。bead.また、図9に示す結果の評価を、〔表1〕にまとめて示す。1].この結果より、比較的良好な液ビード4が得られる塗工面角度θは、θ=25〜65°の領域、また望ましくは、θ=40〜50度の領域であることが判明した。塗工ヘッダ1をシリンダ状被塗工材10の真下からθ=25〜65°、望ましくは、θ=40〜50°回った位置に取付け、鉛直方向液引出し力Fを重量G以上(F≧G)とし、上流側のビード位置を固定した方が良い。fixed.(3)以上の試験結果に示されることから、上記実施例は以下の作用効果を奏すると言える。上記したように、リップ下流側面12をリップ下流側面角度α=0〜20°、さらに好ましくはα=5〜20°の範囲となるように加工したリップ部1aを設けた塗工ヘッダ1とする。塗工ヘッダ1の取付位置は、塗工面角度θ=25〜65°となるように、塗工ヘッダ1の位置をシリンダ状被塗工材10に対し真下からの周面10a上の角度θ=25〜65°の領域で設置し、鉛直方向液引出し力Fを重力G以上(F≧G)とし、上流側のビード位置を固定した方が良い。position.これにより実施例1においては、材料液固着が発生しない条件となり、シリンダ状被塗工材10に均一の厚みで、安定したビード形状で材料液aを塗工でき、リングパターンの問題を回避し塗工速度向上が可能となる。材料液aの固着が生じやすかった揮発性インキを材料液aとして塗工する場合、その作用効果が顕著である。平板状被塗工材20は、ハンドリングの都合上、水平に配置し、水平方向に移動させつつ塗工する場合が多いが、その場合、実施例1のように平板状被塗工材20下面(塗工面)に対して垂直で上向きに塗工ヘッダ1を配置し、リップ下流側面角度α=0〜20°、さらに好ましくはα=5〜20°の範囲となるように加工したリップ部1aを設けた塗工ヘッダ1とする。これにより実施例2においては、材料液固着が発生しない条件となり、揮発性インキを材料液aとした場合でも、平板状被塗工材20に均一の厚みで、安定したビード形状で材料液aを塗工でき、リングパターンの問題を回避し塗工速度向上が可能となる。problem.平板状被塗工材20の下面(塗工面)と同下面に対する塗工ヘッダ1との関係は、シリンダ状被塗工材10における周面10a(塗工面)と同周面1aに対する塗工ヘッダ1との関係と同様である。そこで実施例3のように、実施例2と同様にリップ下流側面角度α=0〜20°、さら機械加工上に好ましくはα=5〜20°の範囲となるように加工したリップ部1aを設けた塗工ヘッダ1を用い、さらに、平板状被塗工材20を水平方向Xに対してθ傾斜して設置し塗工面角度θとし、その塗工面角度θの方向に移動させつつ、平板状被塗工材20の下面に近接する塗工ヘッダ1によって塗工する場合は、塗工面角度θ=20〜65°に設定すると、実施例1と同様に材料液固着が発生しない条件となり、被塗工材に均一の厚みで、安定したビード形状で材料液aを塗工でき、リングパターンの問題を回避し塗工速度向上が可能となる。材料液aの固着が生じやすかった揮発性インキを材料液aとして塗工する場合、その作用効果が顕著である。20の下面に対し塗工ヘッダ1の中心軸方向Cを垂直に配向させて設置すれば、鉛直方向Yに対して塗工ヘッダ中心線Cのなす角度もθである。可能な薄膜形成装置となる。problem.なお、本実施例の薄膜形成装置は、図12に図示の薄膜形成装置100に限られず、図12を参照して説明すれば、図示とは逆に、薄膜塗工ローラ104を位置固定とし、基材110を移動させるものでもよく、また、基材110を塗工ヘッダ101と接触するような高さ位置に設定するとともに、その高さ位置において基材110を図中で左右に移動させる移動装置を設け、薄膜塗工ローラ104無しで塗工ヘッダ101から基材110へ直接塗工を行うものでもよく、基材110が平板状のものでなくシリンダ状のものの場合は、塗工ヘッダ101と接触した状態で回転させる回転駆動装置を設けたものでもよい。with.また、薄膜形成装置100は、塗工ヘッダ101が1基のものではなく、材料液の色等の種類によって塗工ヘッダ101を複数基備え、合わせて薄膜塗工ローラ104も複数基備えたものでもよい。can.以上述べたように、各実施例の塗工ヘッダ1は、一般的に薄膜形成装置用の塗工ヘッダとして用いられるものであるが、特に薄膜形成装置の一つとしての反転印刷装置において、その塗工ヘッダとして、有効に実施し得るものとなる。implemented.一般的にカラーフィルタ等を形成する方法としては、印刷法、フォトリソ法等の方法が知られているが、印刷法においては反転印刷装置を用いることが有効であり、以下、一般的な反転印刷装置と、反転印刷装置による印刷法で薄膜(カラーフィルタ等)を形成する原理について図10、図11により説明する。図10は一般的な反転印刷装置の概要構成図、図11(a)〜(c)は一般的な反転印刷装置の動作と原理の説明図である。apparatus.図10に示すように反転印刷装置50の固定フレーム51には、シリコンシート52を表面に貼り付けた塗布胴53、塗布胴53表面に接して材料液として樹脂(インキ)a′を塗布(塗工)する塗布装置54を1ユニットとし、各色分、すなわち、ブラックマトリクス、レッド、グリーン、ブルーの4ユニット(ブラックマトリクス用ユニットU1、レッド用ユニットU2、グリーン用ユニットU3、ブルー用ユニットU4)分と基板シート55を設置する印刷定盤56が設けてある。固定フレーム51上には移動する可動フレーム57があり、可動フレーム57にはシリコンブランケット58が巻き付けてあるブランケット胴59、同ブランケット胴59と接して、凸版60を表面に取り付けた回転する版胴61を1ユニットとし、固定フレーム51の塗布胴53に対応して設けてある。51.図11は、図10に示す反転印刷装置50の動作及び原理を示す図である。塗布装置54により塗布胴53上に貼り付けてあるシリコンシート52上に着色された樹脂(インキ)a′を塗布し、この樹脂a′をブランケット胴59、上のシリコンブランケット58に転写する(a)。次に版胴61上に樹脂版を露光、現像し、所定の形状に凸部を形成した凸版60を取り付け、凸版60を押圧しブランケット58上の塗布面から凸部分の樹脂a′を除去する(b)。ブランケット58面上の残りの樹脂a′を可動フレームの移動により印刷定盤上の基板シート55上に転写する(c)。この原理によって、ブラックマトリクス、レッド、グリーン、ブルーにつき可動フレームが往復することにより基板シート55にブラックマトリクスとレッド(R)、グリーン(G)、ブルー(B)の画素のカラーフィルタ層を形成することができる。to.以上のような反転印刷装置50において、塗布胴53は、上記実施例における「シリンダ状被塗工材10」に相当するので、塗布装置54に、上記実施例の「塗工ヘッダ1」を適用することで、上述の実施例1の塗工ヘッダ1の作用効果を反転印刷装置50において奏することができる。(なお、図10、図11は一般的な反転印刷装置を示すものであるので、図中の塗布装置54は、本発明の実施例の塗工ヘッダ1を明示するものではない。可能な反転印刷装置となる以上、本発明を図示の実施例について説明したが、本発明は上記の実施例に限定されず、本発明の範囲内でその具体的構造に種々の変更を加えてよいことはいうまでもない。invention.本発明の実施例1に係る塗工ヘッダの説明図であり、(a)はシリンダ状被塗工材に対する本実施例の塗工ヘッダの配置図、(b)は本実施例の塗工ヘッダの拡大断面図である。(a)は、本発明の実施例2に係る塗工ヘッダの説明図であり、平板状被塗工材に対する本実施例の塗工ヘッダの配置図、(b)は、本発明の実施例3に係る塗工ヘッダの説明図であり、平板状被塗工材に対する本実施例の塗工ヘッダの配置図である。リップ下流側面角度αを変えて塗工した試験結果の例を示す塗工状態図である。(ロ)リップ先端形状加工性の難易度との関係の試験結果を表すグラフである。ための試験におけるシリンダ状被塗工材に対する塗工ヘッダの配置図である。塗工ヘッダをシリンダ状被塗工材の軸芯真下に上向きに配置した場合の、塗工状況の説明図である。塗工ヘッダをシリンダ状被塗工材の軸芯真下の位置から鉛直方向Yに対してθ回った位置に配置した場合の、塗工状況の説明図である。塗工ヘッダをシリンダ状被塗工材の真横に近い、軸芯真下から75°の位置に配置した場合の、塗工状況の説明図である。水平面方向Xに対する塗工面角度θと、(ハ)塗工した液ビードのビード液膜の安定性および(ニ)液ビードの膜厚誤差との関係の試験結果を表すグラフである。一般的な反転印刷装置の概要構成図である。(a)から(c)は、一般的な反転印刷装置の動作と原理の説明図である。薄膜形成装置の一般的な例の概要構成図である。従来の表面張力利用型の塗工ヘッダを用いた薄膜形成装置の一例の模式的な要部側断面図である。従来の毛細管現象利用型の塗工ヘッダを用いた薄膜形成装置の一例の模式的な要部側断面図である。従来の表面張力利用型の塗工ヘッダ(円柱体)の問題の説明図であり、(a)は基材と円柱体とのニップ部の模式的な側面視による断面図であり、(b)は(a)の模式的なA−A矢視断面図である。従来の毛細管現象利用型の塗工ヘッダの問題の説明図であって、(a)は基材と塗工ヘッダとのニップ部の模式的な側面視による断面図であり、(b)は(a)の模式的なB−B矢視断面図である。Japanese液状の材料液を被塗工材の塗工面に塗布し、同塗工面に薄膜を形成する薄膜形成装置用の塗工ヘッダであって、前記材料液を前記被塗工材に供給する前記塗工ヘッダ先端のリップ部におけるリップ下流側面が同塗工ヘッダ中心線に対して0°ないし20°の範囲で前記塗工面側に傾斜して加工されてなることを特徴とする塗工ヘッダ。請求項1に記載の塗工ヘッダにおいて、下方に向き水平方向に対して20°ないし65°の塗工面角度をつけた前記被塗工材の塗工面に、前記リップ部を上向きに近接配置されてなることを特徴とする塗工ヘッダ。請求項1または請求項2に記載の塗工ヘッダにおいて、同塗工ヘッダはその中心方向を、前記リップ部が近接配置された箇所の前記塗工面に垂直に向け配置されてなることを特徴とする塗工ヘッダ。請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の塗工ヘッダにおいて、前記液状の材料液が揮発性の材料液であることを特徴とする塗工ヘッダ。請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の塗工ヘッダにおいて、前記被塗工材は平板状被塗工材であり、前記リップ部が近接配置される前記塗工面は同平板状被塗工材の下面であることを特徴とする塗工ヘッダ。請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の塗工ヘッダにおいて、前記被塗工材はシリンダ状被塗工材であり、前記リップ部が近接配置される塗工面は同シリンダ状被塗工材の下側周面であることを特徴とする塗工ヘッダ。請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の塗工ヘッダを備えてなることを特徴とする薄膜形成装置。請求項1ないし請求項4、または請求項6のいずれかに記載の塗工ヘッダを備えてなることを特徴とする反転印刷装置。