請求項21または22に記載の半導体装置。請求項21から23のいずれか1つに記載の半導体装置。求項25に記載の半導体装置。線密度が前記第2の平均値より小さい請求項25に記載の半導体装置。見て前記コネクタと同じ側に設けられる請求項24に記載の半導体装置。8のいずれか1つに記載の半導体装置。求項30に記載の半導体装置。下線部は本件訂正による訂正箇所である。請求項の番号に応じて,それぞれ「本件特許発明1」などという。