ShindengenJavascriptがOFFのため正しく表示されない可能性があります。プレーナ型とトレンチ型プレーナ型とトレンチ型チップの断面構造プレーナ(ゲート)構造トレンチ(ゲート)構造プレーナ構造はウエーハの表面にゲートが付いているので、プロセス後に表面に電極を着けることができますが、チャネルが横向きになるので、ひとつのセルの面積が大くなってしまいます。トレンチ構造はウエーハの表面から溝を掘ってゲート電極を埋め込みます。「トレンチ」は「塹壕」という意味。チャネルを縦に配置することができるのでセルの面積を小さくでき、セルをたくさん並べることができるので、同じチップ面積でもON抵抗をより小さくすることができます。