Stage(スリムステージ)」ユニットを開発し、2002年1月より販売を開始します。液晶・半導体などのデバイスは微細化、高度化が進む一方で、低価格化が進行しており、製造・検査装置に使用される位置決め装置も、運動精度の向上に加え、低コスト化が求められています。Stage」ユニットを新たにシリーズ化します。このユニットは、リニアモータの固定子である磁石ヨーク部とエアガイドの固定子であるガイドバーとを一体化した新しいコンセプトの一軸ユニットです。リニアモータとエアガイドの採用による完全非接触構造が、接触摩擦等の外乱要因を極力抑え、高い速度安定性を実現します。スキャン動作を行う検査装置などに最適です。一軸の精密ステージとして使用することはもちろん、3台のユニットを組み合わせることにより、精密XYステージとしても使用することができます。推力別に標準ユニットを設ける予定であり、各軸に応じた推力仕様のステージを組み合わせることで、幅広い用途のXYステージに発展します。新規にステージの設計を行う場合に比べ、設計作業を簡略化でき、短期間で安価な精密ステージを供給することが可能になります。今回、エアーベアリングの替わりに転がり案内を用いた廉価版のステージユニットも同時に発売します。Stage」ユニットを12月5日より幕張メッセで開催されるセミコン2001に出展します。※「Nanoplane」は住友重機械の登録商標です。±0.1%(@50mm/s)※印の仕様については使用するリニアスケールの分解能により異なります。~(注)cnt:Countの略、リニアスケールの1目盛。